本发明专利技术实施例公开了一种金属导线尺寸监控方法，该方法在预设了金属导线电阻的区间后，包括：根据金属导线电阻的区间计算得到其横截面积的区间；根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；根据所述第一尺寸区间监控并调整金属导线的尺寸，所述金属导线的尺寸包括其横截面的顶部宽度和底部宽度。本发明专利技术通过同时监测金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度，能够准确的获知具有一定倾斜角度的金属导线的横截面积，进而使监测的金属导线尺寸变化能够准确的反映金属导线电阻的变化，因此能够通过调整金属导线的尺寸实现对导线电阻的准确调整。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造
，尤其涉及。
技术介绍
在集成电路制造工艺中，为满足集成电路对金属导线电阻大小的要求，在金属层刻蚀之后通常还会包括金属导线尺寸监测步骤。在金属导线尺寸监测步骤中，获取金属导线的宽度和厚度，并计算出金属导线的横截面积。金属导线的横截面积直接的影响了其电阻大小，其横截面积越大则电阻越小，横截面积越小则电阻越大。因此，可以通过监测并调整金属导线的尺寸实现调整金属导线的电阻大小。现有的为测量金属导线顶部的宽度并测量金属导线的厚度，以金属导线顶部的宽度作为金属导线的宽度，根据金属导线的宽度和厚度来计算其横截面积。后续步骤中可以根据金属导线电阻横截面积计算出其电阻值，若金属导线电阻满足集成电路中的要求，则保持现有金属层刻蚀制程中的工艺参数，使金属导线尺寸保持不变，否则，根据集成电路中对金属导线电阻的要求，调整金属层刻蚀制程中的工艺参数，以调整金属导线的尺寸。但是，在实际应用场景中，不同的刻蚀设备或同一刻蚀设备在不同的时期刻蚀形成的金属导线的横截面形状不一致，如图1所示的金属导线的横截面比较垂直，约为87°， 其顶部和底部的宽度差别较小，如图2所示的金属导线的横截面比较倾斜，约为83°，其顶部和底部的宽度差别较大。图1所示的金属导线顶部宽度和图2所示的金属导线的顶部宽度相同，但底部宽度不同，所以其横截面积不同，电阻也不同。可知，影响金属导线电阻的参数实际是其横截面积，不是其横截面的顶部宽度。因此，现有的金属导线尺寸监测方法存在以下缺陷其所监测的金属导线尺寸变化不能准确的反映出金属导线横截面积变化，进而金属导线尺寸变化不能准确的反映金属导线电阻的变化，因此难以通过调整金属导线尺寸实现对导线电阻的准确调整。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供，使监测到金属导线尺寸变化能准确的反映其电阻的变化，进而通过调整金属导线的尺寸实现对导线电阻的准确调整。为解决上述问题，本专利技术实施例提供了如下技术方案—种金属导线尺寸监控方法，在预设了金属导线电阻的区间后，包括根据金属导线电阻的区间计算得到金属导线横截面积的区间；根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；根据所述第一尺寸区间监控并调整金属导线的尺寸，所述金属导线的尺寸包括其横截面的顶部宽度和底部宽度。优选的，所述第一尺寸区间为金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度的平均值。优选的，所述金属导线尺寸监控方法，还包括预先设定金属导线顶部宽度的尺寸区间，即第二尺寸区间；当所述顶部宽度不满足第二尺寸区间时，调整所述金属导线的尺寸。优选的，所述金属导线尺寸监控方法，还包括预先设定金属导线底部宽度的尺寸区间，即第三尺寸区间；当所述底部宽度不满足第三尺寸区间时，调整所述金属导线的尺寸。优选的，所述监控并调整金属导线的尺寸，包括分别测量获取金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度。优选的，所述监控并调整金属导线的尺寸，包括通过调整金属层刻蚀中的工艺参数，调整金属导线的尺寸。优选的，所述金属导线的横截面为梯形，其顶部宽度小于其底部宽度。优选的，所述金属导线的横截面积为其顶部宽度和底部宽度的平均值与其厚度的乘积，所述金属导线的顶部宽度和底部宽度的平均值与其电阻成反比。与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点本专利技术实施例所提供的技术方案，通过同时监测金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度，能够准确的获知具有一定倾斜角度的金属导线的横截面积，进而使监测的金属导线尺寸变化能够准确的反映金属导线电阻的变化，因此能够通过调整金属导线的尺寸实现对导线电阻的准确调整。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为
技术介绍
部分提供的一种金属导线的横截面测量方式示意图；图2为
技术介绍
部分提供的另一种金属导线的横截面测量方式示意图；图3为实施例一提供的金属导线尺寸监控方法流程示意图；图4为实施例一提供的金属导线的横截面测量方式示意图；图5为实施例二提供的金属导线尺寸监控方法流程示意图；图6为实施例三提供的金属导线的横截面测量方式示意图。具体实施例方式正如
技术介绍
部分所述，不同的刻蚀设备或同一刻蚀设备在不同的时期刻蚀形成的金属导线的横截面的形状不一致，具有不同倾角的金属导线的顶部和底部的尺寸的差别不同，因此不同的金属导线可能会存在横截面顶部宽度相同，底部宽度不同，横截面积不同，电阻也不同的情况。可知，影响金属导线电阻的参数实际是其横截面积，不是顶部的宽度。因此，现有的金属导线尺寸监测方法存在以下缺陷其所监测的金属导线尺寸变化不能准确的反映出金属导线横截面积变化，进而可知其所监测的金属导线尺寸变化不能准确的反映金属导线电阻的变化，因此调整金属导线的尺寸不能实现对导线电阻的准确调整。基于上述研究的基础上，本专利技术实施例提供了一种金属导线尺寸监控方法，在预设了金属导线电阻的区间后，该方法包括以下步骤根据金属导线电阻的区间计算得到金属导线横截面积的区间；根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；根据所述第一尺寸区间监控并调整金属导线的尺寸，所述金属导线的尺寸包括其横截面的顶部宽度和底部宽度。本专利技术实施例所提供的技术方案，通过同时监测金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度，能够准确的获知具有一定倾斜角度的金属导线的横截面积，进而使监测的金属导线尺寸变化能够准确的反映金属导线电阻的变化，因此能够通过调整金属导线的尺寸实现对导线电阻的准确调整。以上是本申请的核心思想，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例， 而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。其次，本专利技术结合示意图进行详细描述，在详述本专利技术实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本专利技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。实施例一本专利技术实施例提供了一种金属导线尺寸监控方法，如图3所示，为该方法的一种流程示意图，该方法具体包括以下步骤步骤S301 预先设定金属导线电阻的区间。所述金属导线电阻的区间可以根据对所要形成的半导体器件的电性要求设定，受现有工艺水平的限制。步骤S302 根据金属导线电阻的区间计算得到金属导线横截面积的区间。通常，金属导线的电阻值与其横截面积成反比。步骤S303 根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；通常刻蚀后形成的金属导线的两侧边并不垂直于晶片，而是具有一定的倾斜角度，其横截面为梯形结构，且顶部宽度小于其底部宽度本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李健，胡骏，
申请(专利权)人：无锡华润上华半导体有限公司，无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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