一种复合左右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种复合左右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法，属于微波电路技术领域。一种复合左右手非线性传输线微波倍频电路由5节复合左右手非线性传输线单元串联构成，每节复合左右手非线性传输线单元分别由两个串联的相同肖特基二极管、一个与肖特基二极管并联的矩形绕线电感和对称分布在矩形绕线电感两边的两根相同的传输线组成。该倍频电路靠近输入端和输出端的肖特基二极管还可以用隔直电容取代。本发明专利技术提供的复合左右手非线性传输线微波倍频电路，优化了电路结构，简化了外围偏置电路，缩小了体积；本发明专利技术提供的倍频电路的制作方法，简化相应电路制作工艺，以改善倍频电路的谐波输出功率，增加谐波转化效率，增强谐波输出纯度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子中微波电路
，尤其涉及一种基于平面肖特基二极管的复合左右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法。
技术介绍
随着系统工作频率向微波高端、毫米波和太赫兹频段延伸，要求频率越来越高，由于受器件、输出功率等因素的影响，基波很难在这些频段上满足系统的电性能指标，需对输入基波信号进行整数倍的频率倍增，将频率扩展到微波、毫米波高端甚至太赫兹波，这样对微波和毫米波发射机和接收机、通信、电子战、雷达等领域具有重要意义。肖特基二极管的肖特基结电容随外加偏置电压非线性变化，因寄生串联电阻小， 具有极高的截止频率，在毫米波或亚毫米波频段，以肖特基非线性电容为基础的倍频器可以有效获取所需谐波输出功率。肖特基二极管在大正向偏置电压时有很大的结电容，等效为一个大电容，呈现低阻抗，近似短路；而反向偏置电压时近似为一个小电容，呈现高阻抗， 近似开路，使得基于肖特基二极管的倍频电路消耗功率很低，得到广泛应用。复合左右手传输线是一种人工合成的非线性传输媒质，具有负的折射率(O、磁导率(μ)和负的折射率，电磁波在其中传播时，波矢方向和能流方向相反(即具有负的相速度和正的群速度)的特性，电场强度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄杰，董军荣，杨浩，张海英，田超，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：