本发明专利技术是有关于一种同轴向双进给轴量测装置，其包含一个光发射及接收模块、一个沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置的第一反射镜、一个第一分光镜、一个沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置的第二分光镜，及一个沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置的第二反射镜，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种量测装置，特別是涉及一种同轴向双进给轴量测装置。
技术介绍
请參阅图1所示，现有ー种双进给轴系统的动柱式龙门加工机1包含ニ个机台 101、一个位于所述机台101之间的工作台102、ニ支分別沿X轴向可移动地设置于所述机台 101上的立柱103、ー个沿Y轴向设置于所述立柱103并可沿Z轴向升降的横向滑轨104、 ー个沿Y轴向可移动地设置于该横向滑轨104的主轴头105，及ニ支分别驱动所述立柱103 的导螺杆106。一般而言，所述导螺杆106在制造时即会产生制造上的误差(例如节距上的误差)，加上所述导螺杆106的长度又很长，因此，所述导螺杆106整体累积产生的误差，即会造成所述导螺杆106在带动所述立柱103沿X轴向进给时，产生线性位移误差。为了量测所述导螺杆106的线性位移误差，目前需使用两套激光干渉仪量测装置 2才能进行量測，所述激光干渉仪量测装置2分別具有ー个设置于固定位置的激光发射及接收头201、一个设置于其中一个机台101的分光镜202、一个设置于其中一支立柱103底部的第一反射镜203，及ー个设置于该分光镜202的第二反射镜204。如此，利用所述激光干渉仪量测装置2量测到的激光干射量测数据，即可判读出所述导螺杆106的线性位移误差，以供使用者作为补偿调整的參考。然而，使用两套激光干渉仪量测装置2来进行量測，不但会大幅增加仪器设备成本(约为新台币200万元)，更需两个操作人员才能同时进行操作，而且，所述激光干涉仪量测装置2的激光发射及接收头201彼此之间也会产生波长相对误差与温度相对误差，如此， 除了会影响量测精度的准确性与可靠度之外，也导致使用者必须进行额外的校正操作。由此可见，上述现有的量测装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一歩改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道， 但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设ー种新型结构的同轴向双进给轴量测装置，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
技术实现思路
本专利技术的目的在干，克服现有的量测装置存在的缺陷，而提供ー种新型结构的同轴向双进给轴量测装置，所要解决的技术问题是使其提供一种可降低设备成本、操作方便且量测精度佳的同轴向双进给轴量测装置，非常适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术ー种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个光学组件，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该光学组件与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及ー个第二反射镜，沿该第一方向与该光学组件间隔设置，该第二反射镜与该光学组件之间定义出一条第三光路径。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进ー步实现。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该光发射及接收模块是ー种激光光发射及接收模块。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一分光镜与该光学组件均是ー 种分光菱镜，并将该光学组件定义为ー个第二分光镜。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一、ニ反射镜在该第一方向上互相对应。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术ー种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；ー个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及ー个反射镜单元，具有ー个第一反射镜，及ー个第二反射镜，该第一、ニ反射镜相对于该第一、二分光镜在ー个第一状态、ー个第二状态与ー个第三状态之间变换，当该第一、ニ反射镜在该第一状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径，当该第一、ニ 反射镜在该第二状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第四光路径，该第一分光镜沿该第四光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜与该第二分光镜邻接， 该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第五光路径，该第二分光镜沿该第五光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间，当该第一、ニ反射镜在该第三状态时，该第一反射镜与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第六光路径，该第一分光镜沿该第六光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第七光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第八光路径。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进ー步实现。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该光发射及接收模块是ー种激光光发射及接收模块。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一、二分光镜是ー种分光菱镜。前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的当该第一、ニ反射镜在该第一状态时，该第一、ニ反射镜在该第一方向上互相对应。本专利技术的目的及解决其技术问题另外再采用以下技术方案来实现。依据本专利技术一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及ー个第二反射镜，与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二分光镜沿该第二光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间。本专利技术的目的及解决其技术问题另外还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；ー个第一反射镜，与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及ー个第二反射镜，沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本专利技术同轴向双进给轴量测装置的主要
技术实现思路
如下其利用该光发射及接收模块搭配该第一、二分光镜与该第一、ニ反射镜，使该第一、ニ反射本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李俊德，
申请(专利权)人：财团法人精密机械研究发展中心，
类型：发明
国别省市：
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