提高方块电阻均匀性的扩散炉管制造技术

本实用新型专利技术涉及一种提高方块电阻均匀性的扩散炉管，具有炉体，炉体内具有内腔，并且炉体的一端具有一根第一进气管和一根用于排放炉体内废气的尾气管，尾气管的一端与外界连通，另一端设置在炉体的内腔内，炉体的另一端具有一根第二进气管，第一进气管的一端和第二进气管的一端均与液态扩散源的源瓶连通，第一进气管的另一端和第二进气管的另一端均与内腔连通，并且第一进气管和第二进气管的气体出口相对于内腔对称设置。本实用新型专利技术在扩散炉管两端对称设置进气管，使扩散更加均匀，工艺上减少了小氮的用量，即减少了三氯氧磷的用量，从而节约成本；提高了扩散后方块电阻的片内和片间的均匀性；扩散通磷时间减少，为进一步提升产量做铺垫。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种提高方块电阻均勻性的扩散炉管。
技术介绍
目前，大多厂家都选用P型硅片来制作太阳能电池，并且一般用三氯氧磷液态源作为扩散源，进行磷扩散形成N型层。扩散过程中发生的反应如下4P0Cl3+302 (过量)—2P205+6C12 (气)，2P205+5Si — 5Si02+4P。扩散这一工艺工程是在扩散炉的反应室内进行的，为了确保扩散工艺的稳定性，即不同批次的硅片通过扩散后，所得到的PN结的结深及掺杂浓度等参数保证一致，必须确保反应腔体内部的气体压力保持稳定。扩散炉管通常具有一个进气口和一个与进气口位于扩散设备同一端的尾气口，并通过一根由尾气口延伸至扩散炉管炉口位置的尾气管对废气进行排放，由于扩散设备具有一定的长度，反应内腔的压力不平衡，从而使扩散设备中各个位置的反应不均勻，影响扩散效果。目前对反应室的气压控制主要有两种方式1、通过人工手动调节尾气阀门来控制压力的大小，该方式费时费力，且不够准确；2、通过控制充入反应室的氮气量来控制压力， 该方法浪费氮气，且增加了能耗。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了解决上述不足，本技术提供一种可提高方块电阻均勻性的扩散炉管。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种提高方块电阻均勻性的扩散炉管，具有炉体，所述的炉体内具有内腔，并且炉体的一端具有一根第一进气管和一根用于排放炉体内废气的尾气管，所述的尾气管的一端与外界连通，另一端设置在炉体的内腔内，炉体的另一端具有一根第二进气管，所述的第一进气管的一端和第二进气管的一端均与液态扩散源的源瓶连通，第一进气管的另一端和第二进气管的另一端均与内腔连通，并且第一进气管和第二进气管的气体出口相对于内腔对称设置。本技术的有益效果是，本技术提高方块电阻均勻性的扩散炉管，扩散炉管两端对称设置进气管，使扩散更加均勻，工艺上减少了小氮的用量，即减少了三氯氧磷的用量，从而节约成本；提高了扩散后方块电阻的片内和片间的均勻性；扩散通磷时间减少3 分钟，为进一步提升产量做铺垫。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图说明图1是本技术提高方块电阻均勻性的扩散炉管最优实施例的结构示意图。图中1、炉体，11、第一进气管，12、尾气管，13、第二进气管，2、内腔。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图， 仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示，一种提高方块电阻均勻性的扩散炉管，具有炉体1，炉体1内具有内腔 2，并且炉体1的一端具有一根第一进气管11和一根用于排放炉体内废气的尾气管12，尾气管12的一端与外界连通，另一端设置在内腔2中，炉体1的另一端具有一根第二进气管 13，第一进气管11的一端和第二进气管13的一端均与液态扩散源的源瓶连通，第一进气管 11的另一端和第二进气管13的另一端均与内腔2连通，并且第一进气管11和第二进气管 13的气体出口相对于内腔2对称设置。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。权利要求1. 一种提高方块电阻均勻性的扩散炉管，具有炉体(1)，所述的炉体(1)内具有内腔 O)，并且炉体(1)的一端具有一根第一进气管(11)和一根用于排放炉体内废气的尾气管 (12)，所述的尾气管(1 的一端与外界连通，另一端设置在内腔O)中，其特征在于炉体 (1)的另一端具有一根第二进气管(13)，所述的第一进气管(11)的一端和第二进气管(13) 的一端均与液态扩散源的源瓶连通，第一进气管(11)的另一端和第二进气管(1 的另一端均与内腔( 连通，并且第一进气管(11)和第二进气管(1 的气体出口相对于内腔O) 对称设置。专利摘要本技术涉及一种提高方块电阻均匀性的扩散炉管，具有炉体，炉体内具有内腔，并且炉体的一端具有一根第一进气管和一根用于排放炉体内废气的尾气管，尾气管的一端与外界连通，另一端设置在炉体的内腔内，炉体的另一端具有一根第二进气管，第一进气管的一端和第二进气管的一端均与液态扩散源的源瓶连通，第一进气管的另一端和第二进气管的另一端均与内腔连通，并且第一进气管和第二进气管的气体出口相对于内腔对称设置。本技术在扩散炉管两端对称设置进气管，使扩散更加均匀，工艺上减少了小氮的用量，即减少了三氯氧磷的用量，从而节约成本；提高了扩散后方块电阻的片内和片间的均匀性；扩散通磷时间减少，为进一步提升产量做铺垫。文档编号H01L21/228GK202307810SQ20112044240公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月10日 优先权日2011年11月10日专利技术者王煜辉 申请人:常州华盛恒能光电有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王煜辉，
申请(专利权)人：常州华盛恒能光电有限公司，
类型：实用新型
国别省市：