磁阻传感器及其制造方法技术

技术编号:7496746 阅读:198 留言:0更新日期:2012-07-10 21:20
本发明专利技术涉及一种磁阻传感器,其包括基板、导线构造层及磁阻构造。其中,导线构造层配置于基板上方,且导线构造层具有彼此相对的第一表面和第二表面,第一表面朝向基板。磁阻构造配置于导线构造层的第二表面上,用以与导线构造层完成电性连接。上述磁阻传感器可提升磁阻传感器的磁阻信号与线性感测区间,并获得较佳的可靠度。本发明专利技术还提供一种上述磁阻传感器的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种,且特别涉及一种性能与可靠度较高的。
技术介绍
铁、钴、镍等磁性物质及其合对于磁场反应较其它元素灵敏且强,而最能直接反映其磁场变化的物就是电阻,故我们称磁性物质受到外加磁场而产生的电阻变化为磁阻。由于消费电子产品如手机、电子罗盘的出现,再加上马达、制动器等传统产品,使磁阻式磁传感器的需求日益增加。图1为现有磁阻传感器的剖面示意图。其中磁阻传感器100主要是由基板102、 磁阻构造104、第一导线构造106、第一绝缘层108、第二导线构造110、第二绝缘层112、第三导线构造114以及通孔接触导线116所构成。其中,磁阻构造104、第一导线构造106、第一绝缘层108、第二导线构造110、第二绝缘层112以及第三导线构造114是依序配置于基板102上,并在第三导线构造114上方配置钝态保护层126以保护内部结构。而通孔接触导线116分别连接第一导线构造106、第二导线构造110和第三导线构造114。第一导线构造106用以读出磁阻构造104因应磁场变化而产生的电阻变化,而后续形成的第二导线构造110和第三导线构造114则为信号接线,用以传输控制信号来控制磁阻构造104本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:刘富台李乾铭
申请(专利权)人:宇能电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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