【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及固体拍摄装置的制造方法及固体拍摄装置。
技术介绍
传统的固体拍摄装置具有在半导体基板形成的多个光电ニ极管及在这些光电ニ 极管上分別形成的多个微透镜。光电ニ极管及微透镜构成像素。该传统的固体拍摄装置的制造方法如下。首先，在光电ニ极管上均勻涂布透镜材料。接着，通过使透镜材料曝光、显影，逐个像素形成块状的透镜体。接着，将块状的透镜体加热、溶融而形成半球状后，将其冷却、硬化，形成第1微透镜。然后，以埋入第1微透镜间的方式，同样形成第2微透镜。根据该传统的固体拍摄装置的制造方法，在第1微透镜和第2微透镜之间不形成间隙，且第1、第2微透镜形成具有期望的曲率的半球状。这样，制造出具有连续球面形状的多个微透镜的高感光度的固体拍摄装置。但是，为了形成这样的高感光度的固体拍摄装置，传统需要反复进行2次微透镜的形成エ序。从而，传统的固体拍摄装置的制造方法存在制造时间长的问题。而且，上述制造方法中，分別需要用于形成第1微透镜用的块状的透镜体的光掩模及用于形成第2微透镜用的块状的透镜体的光掩模。从而，制造固体拍摄装置所必要的成本也増大。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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