微波辐射球形铝粉表面生成氮化铝膜的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是生产用于半导体封装高导热胶用的球形铝粉表面氮化铝膜的装置，解决铝粉容易与液体溶剂、助剂发生反应而保护期短的问题，属于金属粉体表面处理技术领域；装置由输料系统、密闭的不锈钢微波辐射室、不锈钢承压收料罐三个部分构成，用微波透过聚四氟管辐射氮气与球形铝粉的气粒混合物，使铝粉与氮气轻微反应在表层生成氮化铝膜，进入收料罐经过气粒分离后出料包装；收料罐有过压泄爆装置，壳体安有接地线把静电消除掉。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是用于高导热半导体封装胶的球形铝粉表面生成绝缘导热氮化铝膜的装置，解决铝粉容易与液体溶剂、助剂发生反应而保护期短的问题，属于金属粉体表面处理
 
技术介绍
用于高导热半导体封装胶固体成分的球形铝粉，需要在球形铝粉表面形成一层高导热、绝缘的陶瓷体氮化铝膜，来防止铝粉与溶剂、助剂发生反应。现在生成球形铝粉表层的氮化铝膜采用铝粉与浓硝酸发生反应来进行，无法控制氮化铝膜的物理性质，也产生影响高导热半导体封装胶溶剂、助剂的杂质。 
技术实现思路
装置用于高导热半导体封装胶的球形铝粉表面生成绝缘导热氮化铝膜。装置通过对铝粉和氮气组成的气粒混合体经微波辐射，使球形铝粉与氮气都增强反应能量，实现短时间的反应，在球形铝粉表层生成氮化铝膜。 装置由输料系统、不锈钢微波辐射室、不锈钢承压收料罐三个部分构成，用微波透过聚四氟管辐射氮气与球形铝粉的气粒混合物，使铝粉与氮气轻微反应在表层生成氮化铝膜，进入收料罐经过气粒分离后出料包装。输料系统由风机和不锈钢制管道构成，以氮气为介质通过风力输送铝粉；微波辐射室是不锈钢箱体，箱体内上部装有2450Hz或91本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.微波辐射球形铝粉表面生成氮化铝膜的装置，其特征是装置由输料系统、不锈钢微波辐射室、不锈钢承压收料罐三个部分构成；输料系统由风机和不锈钢制管道构成；微波辐射室为箱体，上部装有一个发射微波的磁控管，辐射室内气粒输送管为可透过微波的聚四氟塑料管，辐射室内气粒输送管道旁边或下方通有内部通水的聚四氟塑料管，作为吸收多余微波的水负载；收料罐为不锈钢制成的圆形罐体，下部为倒锥体，下端安有蝶阀作为出料阀门；收料罐上部接有排气管道，管道与罐体之间安装滤布；收料罐顶有过压泄爆装置，罐壁有夹套通水冷却，并安有接地线把静电消除掉。
2.根据权利要求1所述微波辐射球形铝粉表面生成氮化铝膜的装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：周辉放，张刚，
申请(专利权)人：山东信能新材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：