【技术实现步骤摘要】
表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备
本技术涉及表面声波器件、搭载有该表面声波器件的表面声波振荡器以及电子设备,尤其涉及频率温度特性良好的表面声波器件、搭载有该表面声波器件的表面声波振荡器以及电子设备。
技术介绍
在表面声波(SAW:surface acoustic wave)器件(例如SAW谐振器)中,SAW的阻带(stopband)、石英基板的切角以及IDT (interdigital transducer 叉指换能器)的形成方式等对频率温度特性的变化影响很大。例如,在专利文献1中,公开了 SAW的阻带的上端模式和下端模式各自的进行激励的结构以及阻带的上端模式和下端模式各自的驻波分布等。另外,在专利文献2 5中记载了如下情况SAW的阻带上端模式的频率温度特性优于阻带下端模式。并且,在专利文献2、3中记载了如下情况在利用了瑞利波的SAW装置中,为了获得良好的频率温度特性,对石英基板的切角进行调整,并且将电极的基准化膜厚 (H/λ)增厚到0.1左右。并且,在专利文献4中记载了如下情况在利用了瑞利波的SAW装置中,对石英基板的切角进行调整,并且使电极的基准化膜厚(H/λ)加厚0. 045以上。此外,在专利文献5中记载了如下情况通过采用旋转Y切X传播的石英基板并利用阻带上端的谐振,由此,与利用阻带下端的谐振的情况相比,频率温度特性提高。此外,在专利文献6以及非专利文献1中记载了如下情况在使用ST切石英基板的SAW器件中,在构成IDT的电极指之间以及构成反射器的导体带(strip)之间设有槽 (Groove)。另外在非专利文献1中,记载了频率温度特性 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2010.08.26 JP 2010-1898631. 一种表面声波器件,其特征在于,具有叉指换能器,该叉指换能器被设置在以下三种石英基板中的任意一者的主面上,激励出阻带上端模式的表面声波,所述三种石英基板是第1石英基板,其欧拉角为(一60。含((^60。,1.7845><10一9>< I φ I 6 + 2.2009x10—17χ I φ I 5 —1.1608x10—5χ I φ I 4一4.6486>< 10—13χ I φ I 3 + 1.8409x10— 2χ I φ I 2 — 3.1338x10—9χ I φ I + 1.1803><102含θ含 1.7845><10一9>< I φ I 6 + 2.2009><10一 17χ I φ I 5— 1.1608x10 —5χ I φ I 4-4.6486xl0_13x I φ I 3 + 1.8409x 10 — 2x I φ I 2 — 3.1338x10 —9x I φ I +1.4303><102, 2.5961><10一9>< I φ I 6+ 1.2224x10— 17x I φ 1.6416x10—5χ I φ I 4 —3.2260x10—13x I φ I 3 + 2.5407><10—2x I φ I 2-1.2131x10—9x I φ I +4.2235x10刍ψ刍2.5961x10—9x I φ I 6+1.2224><10一17>< I φ I 5 —1.6416x10—5x I φ I 4 — 3.2260xl0 —13x I φ I 3 + 2.5407x10 — 2 χ I φ I 2 — 1.2131x10 — 9 χ I φ 4.9905x10);第 2 石英基板,其欧拉角为(一60。含q^60。,6.7778x10一7〉1.2200x10—4x I φ I 3 + 8.1111χ10^χ I φ I 4一2.4133x10—1X I φ I ' + 3.0521χ I φ I 1.2247χ10χ I φ I + 1.1700 含 θ含 6.7778x10 — 7χ I φ I 6 — 1.2200x10 — 4χ I φ I 8.1111x10 —3χ I φ I 4 — 2.4133xl0 —1X I φ I 3 + 3.0521x I φ I 2—1.2247><10x I φ 1.4200, 2.7816x10 —9χ I φ I 6 + 2.7322x10 —17x I φ I 5 — 1.7524x10 —5x I φ I 1.1334x10 一 13x I φ I 3 + 2.7035x10 一 2x I φ I 2 — 9.9045x10 一 10x I φ 1.3504...
【专利技术属性】
技术研发人员:大胁卓弥,山中国人,
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社,
类型:实用新型
国别省市:
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