一种多路渗透式配气装置制造方法及图纸

一种多路渗透式配气装置，依次由本底载气源、气体选通系统、气体流量控制装置、一室多腔／管渗透室、集气装置组成，通过采用多路气体选通装置将本底载气分为流量可控的ｎ路并分别与指定的渗透室或管连通，分流后的本底载气分别通过不同的渗透管，从而得到多路混合气体。本实用新型专利技术涉及的渗透式配气装置结构简单、操作方便，可在恒温室内预置安装数支标准渗透管，从而实现在同一工作周期内连续工作，同时配制多种不同规格和／或浓度的目标混合气体，显著提高工作效率。该装置对内渗透和外渗透配气装置均适用，特别适用于低浓度、高精度标准混合气体的制备，所制备的混合气体精度高、稳定性好，能快速准确配置多种混合气体，也可用于高精度混合气体的大量制备。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
专利说明 一、
本技术属于气体制备
，涉及混合气体配气装置，特别涉及渗透式气体配气装置。二
技术介绍
渗透式气体配气装置是一种动态配气装置，在配制低含量气体方面具有显著优点，特别是对于低含量标准气体的制备尤为重要。依渗透方式的不同，恒温渗透室的结构有所区别，目前使用的渗透式配气装置一般分为内渗式和外渗式两种，均采用恒温渗透工作方式，内/外渗式配气装置基本结构分别如附图1和附图2所示，包括本底载气源1、流量控制器2、恒温渗透室3、集气装置4以及将他们依次连接在一起形成密闭气体通路的气路5。在一定温度条件下渗透管的渗透率为定值，通过改变温度和本底载气的流量可以配制不同浓度的混合气体，但浓度可调节范围较小；另外，在少量、多品种、浓度范围变化较大或不同类型混合气体配制时，需停机更换渗透管或配备多台配气装置，操作繁琐耗时，工作效率低。CN 00214154公开了一种渗透管快速配气装置，针对内渗式配气装置，将渗透管、恒温室、气路组合为整体结构，通过快速插接头，进行渗透管的更换，与以往结构相比，简单紧凑，使用方便。但该技术涉及的配气装置对不同气体的配置仍需更换渗透管，频繁恒温，操作仍显繁琐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多路内渗式配气装置依次由通过气体管路（５）连接的本底载气源（１）、流量控制器（２）、设置在恒温室（３）中的渗透室（３１）、集气装置（４）组成，渗透室（３１）中置有标准渗透管（３２），其特征在于：在恒温室（３）中均布ｎ个渗透室（３１ｎ），在气源（１）和恒温渗透室（３１）之间有气体选通装置（６），将来自气源（１）的气体分为ｎ路流量可控的本底载气并分别与指定的渗透室连通，分流后的本底载气分别通过不同的渗透室，输出目标气体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔剑，傅兴天，辛宗伟，张学范，
申请(专利权)人：中国兵器工业集团第五三研究所，
类型：实用新型
国别省市：88[中国|济南]