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一种多路渗透式配气装置,依次由本底载气源、气体选通系统、气体流量控制装置、一室多腔/管渗透室、集气装置组成,通过采用多路气体选通装置将本底载气分为流量可控的n路并分别与指定的渗透室或管连通,分流后的本底载气分别通过不同的渗透管,从而得到多路...该专利属于中国兵器工业集团第五三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国兵器工业集团第五三研究所授权不得商用。
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一种多路渗透式配气装置,依次由本底载气源、气体选通系统、气体流量控制装置、一室多腔/管渗透室、集气装置组成,通过采用多路气体选通装置将本底载气分为流量可控的n路并分别与指定的渗透室或管连通,分流后的本底载气分别通过不同的渗透管,从而得到多路...