一种管式PECVD防撞设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手（1）和暂存区（3），其特征是：在暂存区（3）内安装石墨舟检测开关（4），石墨舟检测开关（4）与远程装置（5）连接。本实用新型专利技术的一种管式PECVD防撞设备，可以检测管式PECVD的暂存区内是否存在石墨舟，避免石墨舟撞毁。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械动作自动控制防撞舟上的一种管式PECVD防撞设备。
技术介绍
目前，在石墨舟的生产过程中，一般运用的管式PECVD设备，这种设备在存放石墨舟的过程中，往往会因为操作人员的粗心，在没有留意管式PECVD的暂存区存在石墨舟的情况下而去操作手动操作设备从而放下石墨舟，在这个时候就会因为两个石墨舟相撞，导致两石墨舟损毁，从而造成公司的损失。
技术实现思路
本技术是为了解决目前管式PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)设备在存放石墨舟时容易撞毁的情况下，提供了一种管式PECVD防撞设备。为了达到上述目的，本技术采取的解决方案是一种管式PECVD防撞设备，包括机械臂抓手和暂存区，在暂存区内安装石墨舟检测开关，石墨舟检测开关与远程装置连接。根据本技术的实施例，所述石墨舟检测开关为光电检测开关。根据本技术的实施例，所述石墨舟检测开关通过活动连接固定在暂存区上。根据本技术的实施例，所述远程装置控制为PLC控制。根据本技术的实施例，所述石墨舟检测开关与PLC连接。本技术的有益效果是可以检测管式PECVD的暂存区内是否存在石墨舟，避免石墨舟撞毁。附图说明本技术将通过例子并参照附图的方式说明，其中图1是本技术的结构视图；图中附图标记为1为机械抓手，2为石墨舟，3为暂存区，4为暂存区石墨舟检测开关，5为远程装置。具体实施方式本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。参见图1所述一种管式PECVD防撞设备，包括机械臂抓手1和暂存区3，在暂存区3内安装石墨舟检测开关4，石墨舟检测开关4通过活动连接固定在管式PECVD设备的暂存区3上，石墨舟检测开关4与远程装置5PLC连接，当机械抓手1上带有石墨舟2经过管式 PECVD设备的暂存区3时，若暂存区3上有石墨舟2，PLC通过检测到信号，来控制管式PECVD 设备从而禁止手动操作，这样可以避免石墨舟撞毁。 本技术并不局限于前述的具体实施方式。本技术扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。权利要求1.一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手(1)和暂存区(3)，其特征是在暂存区(3) 内安装石墨舟检测开关(4 )，石墨舟检测开关(4 )与远程装置(5 )连接。2.根据本技术的一种管式PECVD防撞设备，其特征是石墨舟检测开关(4)为光电检测开关。3.根据本技术的一种管式PECVD防撞设备，其特征是石墨舟检测开关(4)通过活动连接固定在暂存区(3)上。4.根据本技术的一种管式PECVD防撞设备，其特征是远程控制(5)为PLC控制。5.根据本技术的一种管式PECVD防撞设备，其特征是石墨舟检测开关(4)与PLC 连接。专利摘要本技术公开了一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手(1)和暂存区(3)，其特征是在暂存区(3)内安装石墨舟检测开关(4)，石墨舟检测开关(4)与远程装置(5)连接。本技术的一种管式PECVD防撞设备，可以检测管式PECVD的暂存区内是否存在石墨舟，避免石墨舟撞毁。文档编号C23C16/50GK202226918SQ20112034297公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月14日 优先权日2011年9月14日专利技术者周天贤, 胡东明, 陈辉 申请人:江阴鑫辉太阳能有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉，胡东明，周天贤，
申请(专利权)人：江阴鑫辉太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：