液体汽化系统技术方案

本发明专利技术提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板23上的筛网24。筛网24通过编织线材24a来形成且整体上呈平板状。蓄热板23的顶面层叠有筛网24，以在蓄热板23上通过筛网24形成细微的凹凸。筛网24的上方设有喷嘴27，液体材料从该喷嘴27滴至蓄热板23(筛网24)上。液体材料在蓄热板23上扩散为薄膜状并在蓄热板23的顶面被加热汽化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及液体汽化系统。
技术介绍
通常，在半导体装置的制造中，为了提高抗蚀液对晶圆的附着性能，采用汽化器对用于将亲水性表面转变为疏水性表面的液体材料进行汽化，并通过该被汽化的液体材料进行晶圆的表面处理。作为这种汽化器，通常采用例如通过加热器加热液体材料从而使该液体材料汽化的汽化器。由汽化器汽化的液体材料一般通过载气供给到容纳于腔室内的晶圆。这种情况下，汽化了的液体材料和载气的混合气体将被供给到晶圆，一旦混合气体中液体材料的浓度在处理时发生变动就会产生处理的稳定性受损等不良状况。因此，为了进行稳定的表面处理有必要使混合气体中液体材料的浓度在处理时保持恒定。为了避免这样的不良状况，例如专利文献1中公开了一种结构，其中，通过在汽化器的内部填充粒状体以在汽化器内形成多孔体，并且在多孔体的外侧设有用于加热液体材料的加热器。由此，使液体材料进入多孔体的间隙中，用加热器通过多孔体对进入该间隙中的液体材料进行加热以使其汽化。这种情况下，由于可以增大多孔体和液体材料的接触面积因而能够促进液体材料的汽化，所以能够期待混合气体中液体材料的浓度在处理时保持恒定。专利文献1 日本国专利申请公开公报“特开2001-295050号”
技术实现思路
然而，在上述专利文献1的技术中，汽化器内部由多孔体形成，所以能够想到由于具有细微间隙的多孔体等多孔体的构造而使载气无法进入多孔体内部等情况。在此情况下，在多孔体内部被汽化的液体材料不能由载气输出到腔室，所以可能会残留在多孔体的内部。本专利技术是鉴于以上状况而提出的，主要目的在于提供一种能够解决液体材料的残留问题并能够促进液体材料汽化的液体汽化系统。为了解决上述问题，本专利技术第1方面的液体汽化系统包括加热并汽化液体材料的汽化器，其特征在于，所述汽化器具有使液体材料附着的大致平坦的液体附着面、使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化的薄膜化装置、及加热所述液体附着面的加热装置。根据本专利技术，可以通过薄膜化装置将附着于液体附着面的液体材料薄膜化(薄薄地扩散)。此外，通过加热装置对液体附着面加热可以加热上述薄膜化的液体材料。这种情况下，由于可以扩大液体材料和液体附着面的接触面积(即传热面积)并加热液体材料从而可以促进液体材料的汽化。尤其在汽化的液体材料易于成为滴状的情况下，其效果明显。此外，用于加热液体材料的液体附着面基本平坦地形成，因此被汽化的液体材料能够由载气输送到下游侧(例如腔室)而不会残留在液体附着面(甚至汽化器内)。因此，通过以上所述，能够解决液体材料的残留问题，并实现液体材料汽化的促进。另外，本液体汽化系统可用于例如在半导体装置的制造中通过汽化的液体材料来对晶圆等被处理物进行表面处理的情况中。具体地，可以考虑这样一种系统，即，在汽化器的下游侧连接容纳晶圆等被处理物的腔室，通过向腔室内的被处理物提供由汽化器汽化后的液体材料来对被处理物进行表面处理。此外，本液体汽化系统中被汽化的液体材料可以考虑采用可在汽化的状态下涂覆到被处理物的表面处理剂等，例如，疏水化处理液。本专利技术第2方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第1方面中，所述薄膜化装置是用于促进液体材料对上述液体附着面的润湿的润湿促进装置，通过所述润湿促进装置可以促进液体材料对所述液体附着面的润湿，从而使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化。根据本专利技术，可以通过促进液体材料对液体附着面的润湿来使附着于液体附着面的液体材料薄膜化。由此，可取得上述本专利技术第1方面所述的效果而无需另设用于使附着于液体附着面的液体材料薄膜化的驱动装置(例如使液体材料压缩的加压装置)等。本专利技术第3方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第2方面中，所述润湿促进装置是细微的凹凸部，该凹凸部设置于所述液体材料附着面以提高液体材料的润湿性。根据本专利技术，在使用与液体附着面的接触角不到90° (即容易润湿液体附着面) 的液体材料时，通过设置在液体附着面上的细微的凹凸部可以提高液体材料对液体附着面的润湿性。由此，能够促进液体材料对液体附着面的润湿。本专利技术第4方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第3方面中，所述液体附着面置(叠加)有通过将线材编织成网眼状而整体上形成为平板状的筛网，并且，所述液体附着面上设置的所述凹凸部将所述线材作为凸部并将所述线材包围的部分作为凹部。根据本专利技术，仅通过在液体附着面上叠置平板状的筛网就能形成凹凸部，因此能以简单的结构获得上述本专利技术第3方面所述的效果。此外，如果筛网以金属制(如不锈钢) 的线材形成，则可以通过加热装置经由液体附着面对筛网进行加热，所以不仅能通过液体附着面还能通过筛网对薄膜化的液体材料进行加热。由此，能够进一步促进液体材料的汽化。另外，这种情况下，如果相对于液体附着面可拆装地构成筛网，则可以根据被汽化液体材料的润湿性更换适当粗细(网眼的细度)的筛网。因此，适用于使不同润湿性的多种液体材料汽化的情况。本专利技术第5方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第4方面中，所述液体附着面形成有向所述液体附着面和所述筛网之间供给所述液体材料的供给口。根据本专利技术，由于在液体附着面和筛网之间具有形成于液体附着面的供给口，所以被供给的液体材料可以通过界面张力在筛网和液体附着面之间的间隙中流动。由此，可以将液体材料顺利地供给到筛网的大面积上而不会产生液体材料的飞散(雾散化)。此外， 供给口不一定必须是单个的，也可设置多个供给口。本专利技术第6方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第5方面中，具备确定所述液体附着面和所述筛网在层叠方向上的相对位置关系的定位部件。根据本专利技术，可以避免以下问题，S卩，使用例如粘合剂等在液体附着面上贴附筛网时堵塞筛网间隙的问题，或者，采用紧固部件紧固筛网时液体材料可能凝集在紧固部附近而产生固状物的问题。定位部件可以通过例如固定在液体附着面端部上的网状物(网)或绳将筛网推压在液体附着面上。定位部件可以是以下结构例如部分地插入用于在液体附着面和筛网之间形成间隙的隔片。本专利技术第7方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第6方面中，所述定位部件具备推压部件，该推压部件在以预定间隔设置的多个位置向所述液体附着面推压所述筛网。根据本专利技术，筛网可在以一定间隔设置的多个位置被推压到液体附着面，因此能以简易的结构实现间隙流动，即，在该预定间隔中利用筛网和液体附着面之间的间隙处的界面张力流动。间隙流动形成于多个推压位置之间，因此可以提供筛网粗细、多个推压位置的位置关系等的设计自由度。由此，能够提供用于实现与所需规格对应的适当间隙流动的设计工具。推压部件可以构成为分别配置在用于推压筛网的多个位置的多个部件，或者，包括具有用于推压的多个凸部的通用部件。本专利技术第8方面的液体汽化系统，其特征在于，在本专利技术第5至第7方面中，所述液体附着面形成为通过所述加热装置加热的加热板的正面；所述加热板形成有连接背面开口部和所述供给口的孔(orifice)，其中，所述背面开口部形成于所述加热板的与所述液体附着面相反一侧的面、即背面；具有用于开闭所述背面开口部的隔断阀；所述背面开口部形成于夹着所述孔与所述供给口相向的位置。根据本专利技术，由隔断阀开闭的孔形成于液体附着面，所以能在液体附着面的附近实现液体材料的隔断。因此能够抑制因隔断阀和液体附着面之间残留的液体材料汽化而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：纐缬雅之，板藤宽，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：