专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
CKD株式会社
>
液体汽化系统技术方案
>技术资料下载
下载液体汽化系统的技术资料
文档序号:7357882
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板2...
该专利属于CKD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过CKD株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。