卤素类气体的除去方法及卤素类气体的除去剂技术

技术编号:730261 阅读:196 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供低浓度区域的本卤素类气体的除去处理能力良好,且可以抑制吸附剂发热,减少固体废弃物的产生量的卤素类气体的除去方法及卤素类气体的除去剂。卤素类气体的除去方法,其中,使包含选自卤素类气体的至少一种的被处理气体与造粒物在水的存在下接触来除去所述卤素类气体,所述卤素类气体包括F↓[2]、Cl↓[2]、Br↓[2]、I↓[2]和水解而生成卤化氢或次卤酸的化合物,所述造粒物相对于造粒物的总质量包含45~99.85质量%的碱金属盐、0.1~40质量%的碳质材料和大于0质量%且小于等于15质量%的碱土金属盐。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及卤素类气体的除去方法及卤素类气体的除去剂
技术介绍
通常,在含有包括F2、 Cl2、 Br2、 12和水解而生成卤化氢或次卤酸的化 合物等的卤素类气体(以下也称本卤素类气体)的干法蚀刻废气、以SiHj硅 烷)为主要成分的CVD(化学气相沉积,Chemical Vapor D印osition)室的废 气、以AsH:i(胂)或PH3(膦)为主要成分的离子注入或掺杂的废气等中,与N2(氮) 气等载气一起,包含上述主要成分气体以及这些主要成分气体在制造装置 内发生分解和反应而生成的卤素类气体或粒子等。一直以来,作为如上所述的本卤素类气体的处理方法,为了设备的小 型化和操作及设备保养的简化,大多采用将由活性炭形成的吸附剂用作填 充物的干法的处理方法等。然而,这样的处理方法中,可能会因被处理气 体的吸附热而起火,而且从使用后的吸附剂脱附的本卤素类气体的臭气引 起的填充剂交换时的作业环境的恶化和固体废弃物的处理等成为问题,希 望该问题能得到解决。此外,为了降低填充物的更换作业频率,要求使填 充物的吸附容量进一步增加。特别是去除使用频率高的Cl2气体或Cl2和 BCl3(三氯化硼本文档来自技高网...

【技术保护点】
卤素类气体的除去方法,其特征在于,使包含选自卤素类气体的至少一种的被处理气体与造粒物在水的存在下接触来除去所述卤素类气体,所述卤素类气体包括F↓[2]、Cl↓[2]、Br↓[2]、I↓[2]和水解而生成卤化氢或次卤酸的化合物,所述造粒物相对于造粒物的总质量包含45~99.85质量%的碱金属盐、0.1~40质量%的碳质材料和大于0质量%且小于等于15质量%的碱土金属盐。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:樱井茂有马寿一
申请(专利权)人:旭硝子株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术
  • 暂无相关专利