【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的高压放电灯。
技术介绍
这种灯具有填充了放电介质、例如惰性气体-带有或不带有水银填充物以及其他可能的填充物-的放电容器。在该放电容器内部布置有两个彼此相对的电极。在该放电容器上放置有两个管壳柄,为了实现电极的电接触,供电元件穿过该管壳柄气密地向外引导。 在利用直流电流运行的电灯类型的情况下,阳极在此通常设计具有能高热负荷的电极头, 其中通过足够大的尺寸来优化热辐射功率。阴极侧的电极则设计为与此相比相对较小的、 锥形的电极头。发出UV射线的高压放电灯被用于构造(光刻)半导体。OSRAM公司销售一种对此适用的、其商品名为ΗΒ0 的水银蒸汽短弧放电灯。为了提高生产率,半导体工业需要大功率的放电灯,该大功率放电灯所发出的UV射线在365nm情况下水银i_线的范围中。在运行时,这种放电灯通常不允许超过大约为2. 5nm的光线宽度(FWHM),因此,不能为了提高辐射强度而简单地提高填充物的水银密度。这就表示也不能明显地提高施加在电极上的点火电压。因此,一种明显提高辐射功率的可能方式在于提高灯电流并且由此提高电连接负荷。尤其是 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖纳·科格,伯恩哈德·温泽科,阿达姆·科托维茨,
申请(专利权)人:欧司朗股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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