基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵制造技术

技术编号：7281479 阅读：651 留言：0更新日期：2012-04-19 23:24

本发明专利技术公开了一种基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵，包括马耳他十字机芯机构，从动盘上设有沟槽，驱动盘上设有卡合体，沟槽的底形成泵腔，泵腔内设有活塞，轴线位于同一直线上的两个活塞通过刚性连接件连接；从动盘绕与机芯轴旋转，极芯轴上设有进气孔和出气孔，当卡合体与一沟槽卡合时，该沟槽所对应泵腔与所述出气孔连通，与该泵腔位于同一轴线的另一泵腔与所述进气孔连通。该真空泵采用马耳他十字机芯机构具有较高的控制精度，充分利用圆周运动的方式，运行更加的平稳，效率更高，可大幅减少泵体的震动和噪音，损耗较小，使用寿命长，且无需进排气阀片，采用旋转式机械进排气密封性更好，可实现较高的真空度。