一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光照射装置。
技术介绍
液晶面板70如图8所示，为于两张玻璃板之间封入液晶的构造，例如，于一面形成多个有源元件(例如薄膜晶体管TFT)72及液晶驱动用电极(透明电极IT0)73、进而于其上形成取向膜74的第1玻璃板71，与于一面形成彩色滤光片76、透明电极77及取向膜78 的第2玻璃板75，以经由间隔物构件79而一面彼此相互对置的方式配置，并于第1玻璃板 71及第2玻璃板75之间形成液晶层80而构成。于此种液晶面板70的制造工序中，公知有通过对具有含对紫外线反应而聚合的光学活性物质(单体)的液晶的液晶面板材照射紫外线，进行液晶面板材的反应处理(预倾角发现处理，PSVA)的技术(参照专利文献1)。于此技术中，通过一边施加电压一边将紫外线对液晶面板材照射，可在使液晶取向于特定方向的状态下使光学活性物质聚合，由此， 可赋予液晶所谓预倾角。于此种利用紫外线的液晶面板材的反应处理(PSVA)中，需要对液晶的光学活性物质以高照度照射紫外线之外，还要求液晶的光学活性物质不会暴露于高温下。光学活性物质的反应速度的温度依存性较高，光照射中的温度较高时则会过度聚合而使聚合物颗粒的成长过大。于是，因为没有均勻的预倾角而对比变差，会造成漏光。进而，液晶面板材的光照射面中产生温度不均勻的话，光学活性物质的反应会产生偏差(离差)，使液晶的倾斜(预倾角)也产生不均，此液晶的倾斜不均在成品时会造成浓淡不均。如上所述，于液晶面板的制造工序中，在进行利用紫外线的液晶面板材的反应处理时，虽然被要求(1)将波长300 400nm的紫外线照射液晶面板材，(2)液晶面板材的光照射面的紫外线照射的面内均勻性较高，(3)液晶面板材的温度上升较少，液晶面板材的光照射面的温度的面内均勻性较高，但是，不会对光学活性物质造成坏影响，可进行所希望的液晶面板材的反应处理的紫外线照射装置并非众所皆知也是实情。日本特开2003-177408号公报并且，于此种紫外线照射装置中，例如全长为2500mm以上的长条的准分子灯，于其点灯时例如一边通过冷却风冷却，一边使用。作为冷却准分子灯的手段，例如设置在准分子灯插通于内部的状态下具有透光性的外套管，使外套管的内部流通冷却风，但是，在准分子灯为长条时，于外套管的内部，必须流动例如流速为20 30m/sec的风量的强力冷却风。然而，在此种冷却方法中，因在外套管的内部会产生乱流而使准分子灯摇晃，产生灯因其震动而破损的问题。进而，因为准分子灯摇晃，产生从准分子灯照射光线的区域的大小及位置变化而损害被处理对象物的光照射面的照度均勻性的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于以上状况所进行的专利技术，目的为提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均勻性高的光照射处理的光照射装置。本专利技术的光照射装置，其特征为具备光源元件而构成，该光源元件由长条灯和长条的筒状外套管所构成，所述长条灯为长边方向的两端部通过框体保持的、垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，所述长条的筒状外套管为在该灯插通于内部的状态下， 长边方向的两端部通过前述框体保持设置的、于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的筒状外套管；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置对该外套管直接支持的支撑部；该支撑部具备与前述灯的4个棱角的角部相接、挟持该灯并加以保持的、由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接于前述外套管的内面的、具备弹性构件的外套管抵接部。于本专利技术的光照射装置中，前述灯，由具有沿灯泡的长边方向延伸的开口部的反射材层被形成于前述灯泡的内面的准分子灯所构成；前述支撑部，优选于与前述反射材层的开口部对置的区域，形成有使隔着该开口部而放射的来自前述准分子灯的放射光通过的空间部的构造。于此种构造中，前述支撑部本体，可作为分别连结整体为略钩状的两个臂构件所构成，该臂构件的各个前端在以位于与前述反射材层的开口部对置的区域外的方式离开的状态下被设置，由此，形成前述空间部的构造。专利技术的效果依据本专利技术的光照射装置，作为将灯相对于两端部被框体保持的外套管加以直接支持的支撑部，与灯的4个棱角的角部相接，挟持灯并加以保持的状态中，通过构成外套管抵接部的弹性构件压接于外套管的内面，以保持在外套管的构造，由此，因能以减少因流通于外套管的内部的冷却风，灯往上下方向摇晃的程度的方式进行抑制，故可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均勻性高的光照射处理，并且能够避免灯因震动而破损的状况。附图说明图1是表示关于本专利技术的紫外线照射装置的一构造例的内部构造的概略的说明图。图2是放大表示图1所示的紫外线照射装置的一部分的剖面图。图3是概略表示图1所示的紫外线照射装置的光源单元的光源元件的配置例的说明图。图4是以垂直于灯的长边方向的剖面切断的状态下，表示关于本专利技术的紫外线照射装置中所使用的准分子灯的一例的构造的概略的剖面图。图5是表示支撑部的一例的构造的概略的立体图。图6是从被支持的准分子灯的光放射方向相反侧观看图5所示的支撑部时的俯视图。图7是表示对准分子灯的外套管的支持构造的剖面图。图8是表示液晶面板的构造概略的说明用剖面图。(主要元件符号说明)10 光源部11 光源部壳体构件IlA —端壁IlB 另一端壁IlC 光照射用开口12 -MW12A:间隔壁13 一端壁13A:导风用通风口14 另一端壁14A:排风用通风口15 光源单元配置空间部16:电装体配置空间部18 导风用空间部19 排风用空间部20 光源单元21 光源元件22 灯保持部24:外套管24A: —端开口24B:另一端开口25 准分子灯26 灯泡26A 上壁26B 下壁^C 角部27A:—方的电极27B:另一方的电极30:反射材层30A:开口部31 玻璃粉末层32 萤光体层35 变压器38 光射出部S 放电空间40 冷却部41 冷却部壳体构件42 冷却风扇43:热交换器45 通风导管50:光导引部51 光导引构件58 平台59 平台架台60 支撑部61 支撑部本体62 一方的臂构件63 另一方的臂构件62A，63A:基部62B，63B:倾斜部62C，63C:前端部62D 连结用螺丝安装用螺丝孔63D 连结部64 灯抵接部65 外套管抵接部66 板弹簧(弹性构件)66A 顶板部66B 基板部66C:长孔68 缓冲构件K:空隙W 被处理对象物70 液晶面板71 第1玻璃板72 有源元件73:液晶驱动用电极74:取向膜75:第2玻璃板76:彩色滤光片77:透明电极78:取向膜79:间隔物构件680 :液晶层具体实施例方式以下，针对本专利技术的实施形态，进行详细说明。图1是表示关于本专利技术的紫外线照射装置的一构成例的内部结构的概略的说明图，图2是放大表示图1所示的紫外线照射装置的一部分的剖面图。此紫外线照射装置大致上通过光源部10、冷却部40、光导引部50及电源部(未图示)构成。光源部10具备具有于下方开口的光照射用开口 IlC的整体为箱型形状的光源部壳体构件11。在此光源部壳体构件11的内部，设置有剖面形状为略H型形状的框体12，通过构成框体12的延水平方向延伸的平板状的间隔壁12A，光源部壳体构件11的内部空间被区分为上下。通过间隔壁12A所区分的下方侧空间部作为配置光源单元20的光源单元配置空间部1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：竹添法隆，菅敏幸，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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