光照射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光照射装置，其能将峰强度一致的多个波长的紫外光照射于鼓的外周面。该光照射装置将光照射于沿着圆柱状的鼓的外周面的一部分附着并移动的片状照射对象物，具有由在基板上沿着第1方向和第2方向配置的多个发光元件构成的光源部，和以从第2方向隔着多个发光元件的光轴的方式配置的矩形的一对反射镜；具备多个通过一对反射镜将来自光源部的光导出，并相对于鼓射出规定发散角以及光量的光的光学单元，多个光学单元射出由N种(N为2以上的整数)不同波长的光的N×M个(M为1以上的整数)的光学单元构成，多个光学单元的各射出面配置于规定的基准平面，各光学元件的一对反射镜间的距离根据光轴的基准平面到鼓的外周面距离设定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术为一种对沿着圆柱状的鼓的外周面的一部分附着并移动的条状的照射对象物进行光照射的光照射装置，特别涉及一种可照射多种不同波长的光的光照射装置。
技术介绍
以往，为了在玻璃基板、塑料基板以及膜基板上形成规定图案和微细结构，广泛使用紫外线硬化树脂。这种紫外线硬化树脂被设计为例如根据波长为365nm左右的紫外光的照射来进行硬化。在紫外线硬化树脂的硬化中，使用照射紫外光的光照射装置，即所谓的紫外线照射装置，来实现。纳米压印法是一种普遍的在基板上形成微细结构的技术。纳米压印法应用在基板表面生成纳米尺寸的微细结构图案的方面上非常优秀，特别从量产性以及脱模性的角度来看，为了转印复制微细结构图案，提出了一种使用辊状模具的构造。这种构造的图案形成装置在例如专利文献I中有所记载。专利文献I中所述的图案形成装置将在表面涂布有紫外线硬化树脂的膜缠绕于在外周面上形成有微细结构图案的辊状模具，由光照射装置对模具的外周面照射紫外光并使树脂硬化后，从模具中剥开，由此，在膜上连续(反复)转印微细结构图案。通过这种方法获得的微细结构图案的转印质量取决于根据紫外光的树脂硬化工序，所以为了提高转印质量(也就是，为了得到准确的微细结构图案)，要求在膜附着于模具的状态下确实地使树脂硬化。因此，为更确实地使树脂硬化，还提出了一种能够照射多个波长的紫外光的构造，例如，专利文献2。专利文献2中所述的图案形成装置为一种将紫外线硬化树脂线状涂布于基板，并通过紫外光使其硬化的装置，首先照射短波长的紫外光只使树脂的表面部分硬化，接着，将容易浸透的长波长的紫外光照射至树脂内部并使树脂内部硬化，由此，确实地使线状涂布的树脂硬化。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2013-086388号公报专利文献2:日本特开2012-143691号公报现有技术中存在的问题是:如专利文献I中所述的图案形成装置，通过辊状模具(也就是鼓)生成微细结构图案时，需要根据所期望的微细结构图案和使用的膜，适当交换模具自身。从而，为使各种各样外径的模具可安装，并且确保模具交换工作的空间，获取相对于模具外周面的光射出面为扁平状的光照射装置。从而，在专利文献I中所述的图案形成装置中使用专利文献2中所述的构造(也就是能够照射多个波长的紫外光的构造)的情况下，优选将射出不同波长的紫外光的光学单元相对于模具的外周面扁平状排列。然而，若将不同波长的光学单元相对于模具的外周面扁平状排列，则从各光学单元到模具的距离也分别不同，针对每个波长峰强度不同的紫外光入射至模具上的树脂。由此，针对每个波长峰强度不同的紫外光入射至树脂时，存在树脂的硬化受到峰强度低的紫夕卜光的影响，不能精度良好地转印微细结构图案，转印品质以及产品的可靠性显著降低的问题。此外，通过配合峰强度低的紫外光，使转印速度慢，积分光量提高的方式，可提高转印质量，但这种方法存在生产效率明显降低的问题。
技术实现思路
本专利技术根据
技术介绍
中的所要解决的技术问题，其目的在于提供一种采用相对于模具(也就是鼓)的外周面扁平状排列射出不同波长的紫外光的光学单元的构造，且可在各波长间射出峰强度一致的紫外光的光照射装置。本专利技术解决其技术问题的方法是:本专利技术的光照射装置为一种将光照射于沿着圆柱状的鼓的外周面的一部分附着并移动的片状照射对象物的光照射装置，其特征在于，具备多个光学单元，所述多个光学单元具备光源部和一对反射镜，通过所述一对反射镜将来自所述光源部的光导出，并针对所述鼓的外周面的一部分射出规定发散角以及光量的光，所述光源部由多个发光元件构成，所述多个发光元件在基板上沿着与所述鼓的中心轴平行的第I方向隔着第I规定间隔排列η个，沿着与所述第I方向直交的第2方向隔着第2规定间隔排列m列，并且在与所述基板直交的第3方向上对齐光轴的方向配置，其中η为2以上的整数，m为I以上的整数；所述一对反射镜以从所述第2方向夹持所述多个发光元件的光轴的方式在所述第I方向以及所述第3方向上延伸，并以反射面相对的方式配置，所述多个光学单元由射出N种(N为2以上的整数)的不同波长光的NXM个(M为I以上的整数)的光学单元构成，所述NXM个光学单元的各射出面配置于根据所述第I方向和所述第2方向规定的规定基准平面上，所述各个光学单元的所述一对反射镜之间的距离是基于从所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设定的。根据这种构造，成为相对于鼓的外周面扁平状排列NXM个光学单元的构造，但各光学单元的一对反射镜间的距离是基于从光轴的基准平面到鼓的外周面的距离而分别设定的，所以可在N种各波长间射出峰强度一致的紫外光。此外，在NXM个光学单元中，将从光轴的基准平面到鼓的外周面的距离最长的光学单元作为第I号光学单元，在沿着第2方向顺次设定从第I号到第NXM号光学单元时，将第i号(i为I以上，NXM以下的整数)的光学单元的所述一对反射镜之间的距离设为%，将从所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设为Iv将所述光源部的所述第2方向的尺寸设为C，将位于第2方向两端的反射镜间的距离设为d，将所述鼓的直径设为e，此时，优选满足以下公式(1)、(2)以及(3)。Bi> c......(I)BiXbi= k(k为规定的定数)……(2)d < e......(3)此外，所述的光照射装置，具备一对延长镜，所述一对延长镜在将所述NXM个光学单元中从所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离最长的光学单元作为第I号的光学单元，沿着所述第2方向顺次设定从第I号到第NXM号的光学单元时，在从位于所述第2方向的两端的各反射镜的前端部到所述鼓的外周面的附近大致平行地延伸，并分别反射从第I号以及第NXM号的光学单元射出的光，将所述第I号光学单元的所述一对反射镜间的距离设为^，将所述第I号光学单元的所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设为匕，将所述第NXM号光学单元的所述一对反射镜间的距离设为a(NXM)，将所述第NXM号光学单元的所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设为b(NXM)，将第i号(i为2以上，(NXM-1)以下的整数)光学单元的所述一对反射镜间的距离设为％，将所述第i号光学单元的所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设为h，将所述光源部的所述第2方向的尺寸设为C，将位于第2方向的两端的反射镜间的距离设为d，将所述鼓的直径设为e，此时，优选满足以下公式(4)、(5)以及(6)。aP a(NXM)> aj> c......(4)aiXbi/2 = a(NXM) Xb(NXM)/2 = BiXbi= k(k 为规定的定数)......(5)d ( e......(6)此外，优选NXM个光学单元的各射出面沿着第2方向等间距配置。此外，优选NXM个光学单元以照射对象物随着该照射对象物的移动来顺次接收从短波长到长波长的光的方式，针对每个波长分组配置。根据这种构造，在照射对象物的表面涂布紫外线硬化树脂时，使该紫外线硬化树脂的表面硬化后，能够使其内部硬化。此外，优选多个发光元件为具有正方形的发光面的LED(LightEmitting D1de)，且被配置为该发光面的2边与所述第I方向平行。此外，优选多个发光元件为具有正方形的发光面的LED，且被配置为该发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光照射装置，其对沿着圆柱状的鼓的外周面的一部分附着并移动的片状的照射对象物进行光照射，其特征在于，具备多个光学单元，所述多个光学单元具备光源部和一对反射镜，通过所述一对反射镜将来自所述光源部的光导出，并针对所述鼓的外周面的一部分射出规定发散角以及光量的光，所述光源部由多个发光元件构成，所述多个发光元件在基板上沿着与所述鼓的中心轴平行的第1方向隔着第1规定间隔排列n个，沿着与所述第1方向直交的第2方向隔着第2规定间隔排列m列，并且在与所述基板直交的第3方向上对齐光轴的方向配置，其中n为2以上的整数，m为1以上的整数；所述一对反射镜以从所述第2方向夹持所述多个发光元件的光轴的方式在所述第1方向以及所述第3方向上延伸，并以反射面相对的方式配置，所述多个光学单元由射出N种的不同波长光的N×M个的光学单元构成，所述N×M个光学单元的各射出面配置于根据所述第1方向和所述第2方向规定的规定基准平面上，所述各个光学单元的所述一对反射镜之间的距离是基于从所述光轴的所述基准平面到所述鼓的外周面的距离设定的；其中，N为2以上的整数，M为1以上的整数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：紫藤和孝，
申请(专利权)人：豪雅冠得股份有限公司，
类型：新型
国别省市：日本;JP