System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 光测定方法以及光测定装置制造方法及图纸_技高网

光测定方法以及光测定装置制造方法及图纸

技术编号:41400880 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-20 19:25
本发明专利技术涉及光测定方法以及光测定装置,即使不使被测定物的配置与光照射的定时相匹配、也能够不遗漏移动的被测定物而准确地进行测定。在光测定装置(100)中,照明装置(200)对于被测定物(OBJ)通过的照射区域,以规定的重复频率照射波长随时间变化的脉冲光(S<subgt;IN</subgt;)。光检测器(302)对来自被照射脉冲光(S<subgt;IN</subgt;)的被测定物(OBJ)的光(S<subgt;OBJ</subgt;)进行受光。光检测器(302)生成的检测信号被利用于被测定物(OBJ)的分光光谱的运算。当设脉冲光(S<subgt;IN</subgt;)的重复频率为f[Hz],被测定物(OBJ)的移动方向的有效尺寸为D[m],被测定物(OBJ)的移动速度为v[m/s],被测定物(OBJ)的表面上的脉冲光的照射点的移动方向的尺寸为d[m]时,满足(f·(D‑d)/v)≥2.0……(1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种光测定装置。


技术介绍

1、在对象物的成分分析、检查中广泛使用分光分析。在分光分析中,向对象物照射测定光,并测定受到对象物的影响的物体光的频谱。然后,基于物体光的频谱与测定光的频谱之间的关系,能够得到反射特性(波长依赖性)或者透射特性等光学特性。

2、在专利文献1、2中公开有一种产品检查装置。该产品检查装置具备用于向对象物照射脉冲光的脉冲光源、配置于来自对象物的光所入射的位置的光检测器、以及根据来自光检测器的输出计算对象物的分光特性的运算单元。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1:日本特开2020-159971号公报

6、专利文献2:日本特开2020-159973号公报


技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、在产品检查装置中,当不使对象物通过测定位置的定时与脉冲光源的光照射定时相匹配时,无法进行准确的分光测定。因此,需要用于使配置与照射的定时相匹配的机构,存在装置变得复杂这样的问题。

3、本专利技术是鉴于所述课题而完成的,其例示性的目的之一在于提供即使不使被测定物的配置与光照射的定时相匹配、也能够不遗漏移动的被测定物而准确地进行测定的方法以及装置。

4、用于解决课题的手段

5、本专利技术的某个方式的光测定方法为,具备:第一步骤,对于被测定物通过的照射区域,以规定的重复频率照射波长随时间变化的脉冲光;第二步骤,通过光检测器检测来自在第一步骤中被照射脉冲光的被测定物的光;以及第三步骤,基于在第二步骤中光检测器生成的检测信号,得到被测定物的分光光谱。当设脉冲光的重复频率为f[hz],被测定物的移动方向的有效尺寸为d[m],被测定物的移动速度为v[m/s],被测定物的表面上的脉冲光的照射点的移动方向的尺寸为d[m]时,满足(f·(d-d)/v)≥2.0……(1)。

6、本专利技术的另一方式为一种光测定装置。该光测定装置具备:照明装置,对于被测定物通过的照射区域,以规定的重复频率照射波长随时间变化的脉冲光;以及光检测器,对来自被照射脉冲光的被测定物的光进行受光,光检测器生成的检测信号被利用于被测定物的分光光谱的运算,当设脉冲光的重复频率设为f[hz],被测定物的移动方向的有效尺寸设为d[m],被测定物的移动速度为v[m/s],被测定物的表面上的脉冲光的照射点的移动方向的尺寸为d[m]时,满足

7、(f·(d-d)/v)≥2.0……(1)。

8、另外,将以上的构成要素任意地组合的方式,将本专利技术的构成要素、表现在方法、装置、系统等之间相互置换的方式,也作为本专利技术的方式而有效。

9、专利技术的效果

10、根据本专利技术的某个方式,即使不使被测定物的配置与光照射的定时相匹配、也能够不遗漏移动的被测定物而准确地进行测定。

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【技术保护点】

1.一种光测定方法,其特征在于,具备:

2.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

3.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

4.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

5.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

6.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

7.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

8.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

9.一种光测定装置,其特征在于,具备:

10.如权利要求9所述的光测定装置,其特征在于,

11.如权利要求9所述的光测定装置,其特征在于,

12.如权利要求9所述的光测定装置,其特征在于,

13.如权利要求9至12中任一项所述的光测定装置,其特征在于,

14.如权利要求9至12中任一项所述的光测定装置,其特征在于,

15.如权利要求14所述的光测定装置,其特征在于,

16.如权利要求9至12中任一项所述的光测定装置,其特征在于,

17.如权利要求9至12中任一项所述的光测定装置,其特征在于,

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光测定方法,其特征在于,具备:

2.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

3.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

4.如权利要求1所述的光测定方法,其特征在于,

5.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

6.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

7.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

8.如权利要求1至4中任一项所述的光测定方法,其特征在于,

9.一种光测定装置,其特征在于,具备...

【专利技术属性】
技术研发人员:山田刚
申请(专利权)人:优志旺电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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