真空传输制程设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种真空传输制程设备，其包括：至少两个进出件腔；至少两个与各进出件腔一一对应的传输平台；至少一第一机械手臂；至少一第二机械手臂；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从进出件腔移向该真空制程腔并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从该真空制程腔移回进出件腔并利用该加工介质完成对工件的完全加工。本发明专利技术还公开了另三种真空传输制程设备以及四种真空传输制程方法。本发明专利技术能够实现对工件的连续加工，获得极高的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。
技术介绍
新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的光电转化效率和太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。由于太阳能晶片的许多制程都需要在真空条件下完成，所以如何减少太阳能晶片进出真空的时间，以及有效利用太阳能晶片在真空中的制程时间对提高太阳能晶片制造设备的生产效率而言至关重要。现有的许多太阳能晶片制造方法都具有较高的生产效率，例如美国专利20080038908所提到的方法，但是基于该方法的设计原理，其生产效率仍然会受到一些天然的限制，诸如，当不同批次的工件进出真空环境时，或是在真空环境中从已加工工件切换至下批次待加工工件时，对工件的加工制程都不得不发生中断，在该中断时间段内，整个设备完全处于无效运行状态，即浪费了加工资源，又浪费了加工时间。由此可以看出，该专利所公开的该生产设备自然不可能实现最佳的生产效率。而除了该专利所公开的该设备及方法以外，在现有的各种其它真空制程方法中也未见能够获得最佳生产效率的模式。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空制程方法生产效率较低的缺陷，提供一种生产效率极高的真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特点在于，该真空传输制程设备还包括至少两个可以在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，该些进出件腔中的一些连接于该真空制程腔一侧、其余进出件腔连接于该真空制程腔另一侧；至少两个与各进出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均可以承载工件在进出件腔与该真空制程腔之间沿直线路线往复移动，该加工介质的传输路径穿过各传输平台的移动路径；至少一第一机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔一侧的进出件腔中的传输平台装载工件，以及从位于该些进出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；至少一第二机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔另一侧的进出件腔中的传输平台装载工件，以及从该些进出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从进出件腔移向该真空制程腔并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从该真空制程腔移回进出件腔并利用该加工介质完成对工件的完全加工。较佳地，该些进出件腔中的一半连接于该真空制程腔一侧、另一半进出件腔连接于该真空制程腔另一侧。较佳地，各传输平台的移动平面各不相同。较佳地，相应于设于该真空制程腔一侧的进出件腔的传输平台与相应于设于该真空制程腔另一侧的进出件腔的传输平台两两移动平面相同。较佳地，在各传输平台从进出件腔移向该真空制程腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在该传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台从进出件腔移向该真空制程腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在该传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，在各传输平台从该真空制程腔移回进出件腔的过程中，当该传输平台上的最后一个工件离开该加工介质的传输路径后，该传输平台加速移回进出件腔。本专利技术的另一技术方案为一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特点在于，该真空传输制程设备还包括至少两个进出件腔，每个进出件腔均包括一第一腔室和一第二腔室， 该些进出件腔中的一些的第一腔室连接于该真空制程腔一侧、第二腔室连通于该真空制程腔另一侧，其余进出件腔的第一腔室连接于该真空制程腔另一侧、第二腔室连通于该真空制程腔一侧，该些第一腔室可以在大气状态与真空状态之间切换；至少两个与各进出件腔一一对应且移动平面各不相同的传输平台，各传输平台均可以承载工件沿着第一腔室、该真空制程腔、第二腔室的直线路线往复移动，该加工介质的传输路径穿过各传输平台的移动路径；至少一第一机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔一侧的第一腔室中的传输平台装载工件，以及从该些第一腔室中的传输平台向大气环境卸载工件；至少一第二机械手臂，用于从大气环境向位于设于该真空制程腔另一侧的第一腔室中的传输平台装载工件，以及从该些第一腔室中的传输平台向大气环境卸载工件；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从第一腔室移向第二腔室并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从第二腔室移回第一腔室并利用该加工介质完成对工件的完全加工。较佳地，该些进出件腔中的一半的第一腔室连接于该真空制程腔一侧、第二腔室连通于该真空制程腔另一侧，另一半进出件腔的第一腔室连接于该真空制程腔另一侧、第二腔室连通于该真空制程腔一侧。较佳地，在各传输平台从第一腔室移向第二腔室的过程中，该加工介质完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在该传输平台从第二腔室移回第一腔室的过程中，该加工介质完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台从第一腔室移向第二腔室的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在该传输平台从第二腔室移回第一腔室的过程中，该加工介质完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，在各传输平台从第二腔室移回第一腔室的过程中，当该传输平台上的最9后一个工件离开该加工介质的传输路径后，该传输平台加速移回第一腔室。本专利技术的又一技术方案为一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特点在于，该真空传输制程设备还包括至少两个可以在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，该些进出件腔中的一些连接于该真空制程腔一侧、其余进出件腔连接于该真空制程腔另一侧；至少两个与各进出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均可以承载工件在进出件腔与该真空制程腔之间沿弧形路线往复移动，该加工介质的传输路径穿过各传输平台的移动路径；至少一机械手臂，用于从大气环境向位于各进出件腔中的传输平台装载工件，以及从位于各进出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从进出件腔移向该真空制程腔并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从该真空制程腔移回进出件腔并利用该加工介质完成对工件的完全加工。较佳地，该些进出件腔中的一半连接于该真空制程腔一侧、另一半进出件腔连接于该真空制程腔另一侧。较佳地，各传输平台的移动平面各不相同。较佳地，相应于设于该真空制程腔一侧的进出件腔的传输平台与相应于设于该真空制程腔另一侧的进出件腔的传输平台两两移动平面相同。较佳地，在各传输平台从进出件腔移向该本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钱锋，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：