本发明专利技术的呈90?角四输入微电子机械微波功率传感器，具有四个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈90?的角，在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这四对热电偶相互之间也同样呈90?的角，从而实现了四输入微波功率的测量，它大大减小了芯片面积，提高了集成度；而且，本发明专利技术的四输入微电子机械微波功率传感器还具有低损耗、高灵敏度、好的线性度等传统热电式微波功率传感器的优点。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，张志强，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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