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本发明的呈90?角四输入微电子机械微波功率传感器，具有四个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈90?的角，在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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