【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种微电子机械系统电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括设有空腔（５）的衬底（１）、设在衬底（１）上的氧化层（２）、分别设置在氧化层（２）上的第一电容电极（３）和第二电容电极（４），第一电容电极（３）和第二电容电极（４）设置在空腔（５）上方，第一电容电极（３）包括若干平行的第一电极（３３）、将第一电极（３３）连接在一起的第一公共端（３１）、每个第一电极（３３）设有与第一公共端（３１）相对的第一自由端（３２），第一电极（３３）连接第一公共端（３１）和第一自由端（３２），第二电容电极（４）包括若干平行的第二电极（４３）、将第二电极（４３）连接在一起的第二公共端（...
【技术特征摘要】
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