脱模性组合物及表面保护膜制造技术

本发明专利技术提供一种具有透明性且可在涂膜表面上形成难以附着光致抗蚀剂的涂膜的脱模性组合物，及具有由该固化物构成的涂膜的表面保护膜。脱模性组合物包含粘合剂树脂、硅酮油、及金属醇盐的水解物。相对于100重量份的所述粘合剂树脂，所述金属醇盐的水解物含量优选为50～500重量份。所述金属醇盐包含四乙氧基硅烷或四甲氧基硅烷。表面保护膜为在基材上形成由所述脱模性组合物的固化物构成的涂膜而成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种脱模性组合物及使用其的表面保护膜。尤其时涉及可形成脱模性及脱模持续性优异的涂膜的脱模性组合物，及具有含有该固化物的涂膜的表面保护膜。作为本专利技术的固化物的涂膜及表面保护膜，在印刷基板制作步骤等中，可在使具有粘合性的光致抗蚀剂曝光时的原稿(光掩模)的表面等上形成或贴合而使用。
技术介绍
通常印刷电路板或树脂凸版是在液态光致抗蚀剂等的具有粘合性的光致抗蚀剂上附着光掩模并曝光而制作。因此，若光掩模的表面未实施任何处理，则在曝光结束后由光致抗蚀剂剥离光掩模时，光致抗蚀剂的一部分会附着于光掩模表面上。附着的光致抗蚀剂的一部分即使擦拭亦会残留于光掩模上，而产生导致曝光精度下降的问题。就这样的状况而言，一直以来，在光掩模的面向光致抗蚀剂的面上形成具有脱模性的涂膜，或者贴合设有这样的涂膜的表面保护膜，以防止光致抗蚀剂附着在光掩模上(专利文献1、专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2000-273412号公报(段落编号0008)专利文献2 日本特开2005-181565号公报(段落编号0005)
技术实现思路
专利技术要解决的课题具有这样的脱模性的涂膜大多为在粘合剂树脂中包含硅油作为脱模性成分。在这样的涂膜中，在粘合剂树脂与硅油的相容性不良的组合的情况下，有涂膜白化，引起曝光障碍的问题。另一方面，在粘合剂树脂与硅油的相容性为良好的组合的情况下，虽涂膜不会白化而获得透明性，但由于硅油埋没于粘合剂树脂中，故难以获得脱模性。另外，若添加硅油直到可在涂膜表面获得脱模性，则由于无法保持涂膜强度，或者添加大量硅油，故以洗净溶剂清洁时，有脱模性降低的问题。因此，本专利技术一方面提供一种具有透明性且可在涂膜表面上形成难以附着光致抗蚀剂的涂膜的脱模性组合物，及具有含有该固化物的涂膜的表面保护膜。而另一方面提供一种可形成经过长时间也难以附着光致抗蚀剂，且使脱模性持续的涂膜的脱模性组合物， 以及具有含有该固化物的涂膜的表面保护膜。进而，另一方面，提供一种可形成即使利用洗净溶剂也不使脱模性降低的涂膜的脱模性组合物，以及具有含有该固化物的涂膜的表面保护膜。用于解决课题的方法本专利技术人等精心研究的结果，发现通过使对粘合剂树脂与硅油添加金属醇盐的水解物而成的组合物固化形成涂膜，由此即使在硅油与粘合剂树脂的相容性为良好的情况，仍可对涂模显示脱模性，并完成了本专利技术。S卩，本专利技术的脱模性组合物的特征在于，包含粘合剂树脂、硅油、及金属醇盐的水解物。本专利技术的固化物的特征在于，使上述脱模性组合物固化而获得。本专利技术的表面保护膜的特征在于，具有由上述固化物构成的涂膜。本专利技术的光掩模的特征在于，隔着粘合层贴合上述表面保护膜。专利技术效果本专利技术的脱模性组合物可形成具有透明性且难以在涂膜表面上附着光致抗蚀剂的涂膜(固化物)。另外，可形成经过长时间也难以附着光致抗蚀剂，且使脱模性持续的涂膜。另外，可形成即使利用洗净溶剂也不使脱模性降低的涂膜。另外，通过使用本专利技术的表面保护膜，可获得聚有透明性且难以附着光致抗蚀剂的光掩模。另外，可获得经过长时间也难以附着光致抗蚀剂，且使脱模性持续的光掩模。另外，可获得即使利用洗净溶剂也不使脱模性降低的光掩模。具体实施例方式针对本专利技术的脱模性组合物的实施方式加以说明。本专利技术的脱模性组合物包含粘合剂树脂、硅油、及金属醇盐的水解物。作为构成本专利技术的脱模性组合物的粘合剂树脂，可使用聚氯乙烯、聚碳酸酯、丙烯酸树脂、聚甲基丙烯酸丁酯、聚酯、聚砜、聚苯醚、聚丁二烯、烃树脂、酮树脂、苯氧树脂、聚酰胺、乙基纤维素、乙酸乙烯酯、ABS树脂、聚氨酯、三聚氰胺树脂、不饱和聚酯树脂、醇酸树脂、 环氧树脂、硅酮树脂、聚乙烯醇缩丁醛、聚乙烯乙缩醛等的树脂。尤其是，使用与反应性硅油的相容性良好的硅酮树脂可使涂膜的透明性良好，故优选。作为硅酮树脂，可使用环氧基改性的硅酮树脂、醇酸改性的硅酮树脂、聚酯改性的硅酮树脂、丙烯酸改性的硅酮树脂、甲基系硅酮树脂、甲基苯基系硅酮树脂等。尤其时从涂膜硬度或耐溶剂性的观点出发，优选使用环氧基改性的硅酮树脂。粘合剂树脂的含有比例优选为脱模性组合物的总固体成分中的20 60重量％。 通过设为20重量％以上，可维持固化后的涂膜强度，通过设为60重量％以下，可在达到本专利技术目的的程度下充分必要地含有后述其它成分。接着，硅油是为了使涂膜显示脱模性而使用。作为这样的硅油。可使用二甲基硅油、改性的硅油或分子末端具有至少一个反应性官能团的反应性硅油的至少任一种。通过使用这样的反应性硅油，可易于与构成脱模性组合物的其它成分反应，其结果，可使所得涂膜的脱模性更长久地持续。作为改性硅油，可使用经烷基改性、聚醚改性、氟改性、硫醇改性、环氧基改性、羧基改性、高级脂肪酸酯改性、(甲基)丙烯酸改性、卡必醇改性等的改性硅油。另外，作为具有反应性官能团的反应性硅油，可使用具有作为反应性官能团的烷氧基、巯基、卡必醇基、环氧基、胺基、丙烯酰基、羧基的硅油。尤其是具有烷氧基的反应性硅油，由于与后述的金属醇盐之间具有高的反应性，所以可在涂膜中强力固定化，经过长时间也难以附着光致抗蚀剂，或者即使利用洗净溶剂也不使脱模性降低，可使脱模性更持续，故优选。硅油的组成中，多数含有不具反应性官能团的硅油，硅油容易自涂膜上游离，难以持续脱模性。因此，硅油的组成中，优选包含75%以上的容易与构成脱模性组合物的其它成分反应的反应性硅油。反应性硅油的添加比例为脱模性组合物总固体成分中的0. 5 5重量％，优选为 1 2重量％。通过设为0. 5重量％以上，可显示脱模性，通过设为5重量％以下，可防止在涂膜表面进行手指擦拭试验(摩擦)时涂膜产生白化，同时可防止未固定化于涂膜的硅油转印于光致抗蚀剂上。金属醇盐的水解物是用于防止硅油埋没粘合剂树脂中。由于可减少这样地埋没的硅油，故可减少涂膜中的硅油的比例。作为构成金属醇盐的金属元素，可使用铝、锆、钛、 硅。另外，作为醇盐的种类，可使用甲醇盐、乙醇盐、丙醇盐、异丙醇盐、氧基异丙醇盐、丁醇^Tt.O作为金属醇盐的一例的硅醇盐为通过热固化形成聚硅氧烷结构的物质。作为硅醇盐可列举出例如四烷氧基硅烷、三烷氧基硅烷等。作为四烷氧基硅烷可列举为四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丙氧基硅烷、四丁氧基硅烷等。其中，优选四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷。作为三烷氧基硅烷列举为例如甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、丙基三乙氧基硅烷、丁基三甲氧基硅烷、 丁基三乙氧基硅烷、戊基三甲氧基硅烷、戊基三乙氧基硅烷、庚基三甲氧基硅烷、庚基三乙氧基硅烷、辛基三甲氧基硅烷、辛基三乙氧基硅烷、十二烷基三甲氧基硅烷、十二烷基三乙氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、十六烷基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y -环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3，4-环氧基环己基乙基三甲氧基硅烷等。尤其是从作为涂布溶液时的稳定性或固化后的涂膜强度的观点出发，作为硅醇盐优选四烷氧基硅烷，更优选四甲氧基硅烷(硅酸甲酯)、四乙氧基硅烷(硅酸乙酯)。作为硅以外的金属醇盐，列举为例如丙醇锆、异丙醇铝、丁醇钛、异丙醇钛等。以上例示的各种金属醇盐可分别单独使用，或混合两种以上使用。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川刚，涉谷崇志，新井裕之，栗岛进，
申请(专利权)人：木本股份有限公司，
类型：发明
国别省市：