微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器及制备方法技术

本发明专利技术的微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器，由一个耦合度可变的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器和一个直接加热式ＭＥＭＳ微波功率检测器构成。该结构以砷化镓为衬底，在耦合器中包含有ＭＥＭＳ悬臂梁开关结构，通过驱动电极的控制，悬臂梁开关将处于ＤＯＷＮ或ＵＰ状态，分别使输入微波功率以不同的比例耦合至热电偶上；由耦合输出的微波功率被热电偶直接吸收，并将电磁能量转化为热量，使得另一端的热电偶在输出压焊块上以恒定电势差的形式输出，该恒定电势差即对应了由耦合输出端得到的微波功率的大小。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器，其特征在于：该结构包括砷化镓衬底（２４），由微带线构成的主线（５），副线（６），耦合传输线（７），ＭＥＭＳ悬臂梁（１２），ＭＥＭＳ悬臂梁的锚区（１３），驱动电极（１５），压焊块（１７），输出压焊块（２２），空气桥（１８），引线（１６）半导体热偶臂（２０），金属热偶臂（２１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84