【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种三通道微机械固支梁间接式微波功率传感器，制作在砷化镓衬底（１７）上，在其上设有主副线ＣＰＷ（４）、ＭＥＭＳ固支梁（５）、ＭＥＭＳ固支梁的锚区（６）、聚酰亚胺绝缘介质层（７）、终端匹配电阻（９）、一个由六个热电偶（１０）构成三对热电偶（１０）而组成的热电堆、六个位于副线ＣＰＷ（４）连接的终端匹配电阻（９）附近的热电堆、输出压焊块（１４）、一个金属散热片（１３）、空气桥（８）以及连接线（１５），在衬底（１７）下形成ＭＥＭＳ衬底膜结构（１６），其特征在于该结构具有三个用于引入微波信号的主线ＣＰＷ输入端（１、２和３），它们彼此对称放置且相互之间呈１２０ｏ的角，每个主线ＣＰＷ...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。