【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及尾气处理领域,特别是指一种尾气的处理方法和装置。
技术介绍
随着人们对环保的要求,工业制程的尾气处理方式越来越受到人们的关注。目前, 制程的尾气处理使用采用单一的热处理技术。热处理方式包括普通热处理方式或者触媒热裂解方式。普通热处理方式是利用高温的方式产生的自由基与氟化物分解的氟物种反应, 形成的最后产物为氢氟酸(溶于水);经过处理后的气体再通过洗涤塔,利用水洗、吸附等方式去除危害性物质。以下为SF6稳定性较好且键能值较高的气体处理化学式范例权利要求1.一种尾气的处理方法,其特征在于,包括 获取反应腔的气体的类型;根据所述气体的类型,获取对应的尾气处理方式; 对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理。2.根据权利要求1所述的尾气的处理方法,其特征在于,所述获取反应腔的气体的类型的步骤具体为获取反应腔的气体的键能值; 所述根据所述气体的类型,获取对应的尾气处理方式的步骤具体为根据所述气体的键能值,获取对应的尾气处理方式。3.根据权利要求2所述的尾气的处理方法,其特征在于,所述根据所述气体的键能值, 获取对应的尾气处理方式的步骤具体为判断所述气体是否包含有键能值大于预定值的气体,生成判断结果; 如果所述判断结果为是,则对应的尾气处理方式是电浆处理方式;否则,对应的尾气处理方式是热处理方式。4.根据权利要求3所述的尾气的处理方法,其特征在于,所述键能值大于预定值的气体包括CF4或SF6,所述键能值小于或等于预定值的气体包括CL2或BCL2。5.根据权利要求1所述的尾气的处理方法,其特征在于,所述对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:马擎天,苏贤恩,刘秉承,
申请(专利权)人:协鑫光电科技张家港有限公司,
类型:发明
国别省市:
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