有机电致发光显示器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种有机电致发光显示器及其制造方法。制造有机电致发光显示器的方法包括：选择性地蚀刻层间绝缘层和栅极绝缘层使得子像素单元的半导体层的源极区和漏极区被暴露，并且去除数据线单元的数据线形成区域中的层间绝缘层和栅极绝缘层使得数据线单元的数据线形成区域处的缓冲层被暴露；形成结合到子像素单元的暴露的半导体层的源电极和漏电极，并在数据线单元的数据线形成区域的暴露的缓冲层上形成数据线。

【技术实现步骤摘要】

所描述的实施例涉及一种，更具体地，涉及一种能够防止RC延迟以改善有机电致发光显示器的可靠性并简化工艺的。
技术介绍
近来，随着信息导向社会的发展，在对有机电致发光显示器的需求增加的同时，对诸如液晶显示器(IXD)、等离子体显示面板(PDP)、场发射显示器(FED)、电泳显示器(EPD)、 有机电致发光显示器的显示器的研究正在活跃地进行。在有机电致发光显示器中，使用的是通过由阴极提供的电子和由阳极提供的空穴的复合来产生光的有机发光二极管。
技术实现思路
根据实施例，提供了一种有机电致发光显示器，所述有机电致发光显示器包括子像素，通过布置在基板上的垂直交叉的栅极线和数据线限定，缓冲层设置在基板上；驱动开关元件，将驱动电流施加到子像素；保护层，设置在整个基板上并且覆盖数据线和驱动开关元件；有机发光二极管(OLED)，设置在子像素中的保护层上以从驱动开关元件接收驱动电流，其中，数据线通过层间绝缘层和栅极绝缘层设置在缓冲层上。数据线可包括与驱动开关元件的源电极和漏电极的材料相同的材料。数据线可埋置在层间绝缘层和栅极绝缘层中。数据线可与层间绝缘层被平坦化。所述有机电致发光显示器还可包括在覆盖数据线和驱动开关元件的保护层上的平坦化层。数据线上的平坦化层的厚度可以大于驱动开关元件上的平坦化层的厚度。根据实施例，一种制造有机电致发光显示器的方法包括以下步骤在由子像素单元和数据线单元限定的整个基板上形成缓冲层；在子像素单元的缓冲层上形成半导体层； 在设置有半导体层的基板的整个表面上形成栅极绝缘层；在子像素单元的栅极绝缘层上形成栅电极，以覆盖半导体层；在基板的整个表面上形成层间绝缘层，以覆盖栅电极；选择性地蚀刻层间绝缘层和栅极绝缘层使得子像素单元的半导体层的源极区和漏极区被暴露，并且至少部分地去除数据线单元的层间绝缘层和栅极绝缘层使得数据线单元的缓冲层被暴露；形成结合到子像素单元的暴露的半导体层的源电极和漏电极，并在数据线单元的暴露的缓冲层上形成数据线。数据线可埋置在层间绝缘层和栅极绝缘层中。数据线可与层间绝缘层被平坦化。所述方法还可包括如下步骤在设置有数据线、源电极和漏电极的基板的整个表面上形成保护层；在子像素单元中形成通过保护层电结合到漏电极的阳极；在基板上形成平坦化层，从而暴露阳极；在暴露的阳极上形成有机发光层；在形成有有机发光层的基板的整个表面上形成阴极，从而形成0LED。形成在数据线上的平坦化层的厚度可大于形成在源电极和漏电极上的平坦化层的厚度。根据实施例，一种制造有机电致发光显示器的方法包括以下步骤在由子像素单元和数据线单元限定的整个基板上形成缓冲层；在子像素单元处的缓冲层上形成驱动开关元件；在数据线单元处的缓冲层上形成数据线；在设置有驱动开关元件和数据线的基板的整个表面上形成保护层；在子像素单元的保护层上形成电结合到驱动开关元件的0LED，其中，在缓冲层上形成数据线的步骤包括至少部分地暴露数据线单元，同时执行接触孔工艺以形成驱动开关元件的源电极和漏电极。数据线可埋置在形成在基板的整个表面上的层间绝缘层和栅极绝缘层中。数据线可与层间绝缘层被平坦化。附图说明通过参照附图对示例性实施例进行的描述，对本领域普通技术人员来说，上述和其他特征和优点将会变得更加明白，其中图IA示出了根据实施例的用于简化有机电致发光显示器的布局的示图；图IB示出了关于根据沿线A-A’截取的图IA的有机电致发光显示器的剖视图；图IC示出了关于根据沿线B-B’截取的图IA的有机电致发光显示器的剖视图；图2A至图21示出了关于制造根据图IA的有机电致发光显示器的方法的剖视图。具体实施例方式2010年8月M日在韩国知识产权局提交的名称为“Organic Electroluminescence Emitting Display Device and Manufacturing Method of the Same"的第10-2010-0082084号韩国专利申请通过引用全部包含于此。在下文中将参照附图更充分地描述示例实施例；然而，示例实施例可以以不同的形式来实施，且不应该解释为局限于在这里所提出的实施例。相反，提供这些实施例使得本公开将是彻底和完全的，并将本专利技术的范围充分地传达给本领域技术人员。在附图中，为了清晰示出起见，会夸大层和区域的尺寸。还将理解的是，当层或元件被称作“在”另一层或基板“上”或者基板的表面“上”，这样的层或元件可以直接在该另一层或基板上，或者也可以存在中间层。此外，将理解的是，当层被称作“在”另一层“下面” 时，该层可以直接在该另一层下面，也可以存在一个或更多个中间层。此外，还将理解的是， 当层被称作“在”两层“之间”时，该层可以是该两层之间唯一的层，或者也可以存在一个或更多个中间层。相同的标号始终表示相同的元件。以下，将参照附图详细描述根据实施例的。这里，i)附图中示出的形状、尺寸、比率、角度和数值可稍微改变。ii)由于附图是从观察者的视角描绘的，所以示出在附图中的方向和位置可根据观察者的位置而进行各种改变。iii)尽管不同的标号可以分配给相同的部件。iv)在使用术语“包含”、“具有”和“包括”的情况下，当没有使用术语“仅”时，可以增加另一术语。ν)单数可被理解为复数。vi)尽管形状、尺寸的比较和位置关系没有用“大约”、“基本上”等来解释，但形状、尺寸的比较和位置关系理解为包括通常的误差范围。vii)尽管使用术语“在…之后”、“在…之前”、“然后”、“并且”、“这里”、“接下来”、 “此时”和“在这种情况下”，但这些术语不意味着时间位置的限制。viii)术语“第一”、“第二”和“第三”等用于选择性地、可互换地或重复地进行常规的区分，但不理解为限制的意 )思Oix)在描述两个部件之间的诸如“在…上”、“在…上方”、“在…下面”和“在…旁边” 的位置关系的情况下，当没有使用术语“直接”时，一个或更多个其他部件可位于所述两个部件之间。X)使用术语“或者”作为连接语描述部件时，作为连接语的术语“或者”可理解为不仅指单独的所描述的部件，而且指部件的组合。当使用术语“…之一、或者…”来描述部件时，这样的短语可指可选择的所描述的部件。有机电致发光显示器根据所描述的实施例的有机电致发光显示器包括多个子像素。然而，以下，将参照一个子像素描述根据实施例的有机电致发光显示器。这里描述的方面可应用到形成在有机电致发光显示器中的其他子像素。参照图IA至图1C，根据实施例的有机电致发光显示器包括栅极线IM和数据线 128，布置在基板110上；有机发光二极管(OLED)，形成在由垂直交叉的栅极线IM和数据线1 限定的子像素单元P中；驱动开关元件TFT，用于向OLED提供驱动电流。基板110可限定为子像素单元P和数据线单元DL。这里，对于在此描述或陈述为层形成“在整个基板上”或“在基板的整个表面上”的情况，这样的描述或陈述是指在子像素单元P和数据线单元DL的区域中的基板，并不要求所述层形成在整个有机发光显示装置之上。形成在子像素单元P中的OLED根据通过驱动开关元件TFT提供的驱动电流的流动发射红光分量、绿光分量和蓝光分量，以显示预定的图像信息。OLED包括阳极132，电结合到驱动开关元件TFT;阴极136，电结合到电源布线(未示出)；有机发光层本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种有机电致发光显示器，所述有机电致发光显示器包括：子像素，通过布置在基板上的垂直交叉的栅极线和数据线限定，缓冲层设置在基板上；驱动开关元件，将驱动电流施加到子像素；保护层，设置在整个基板上并且覆盖数据线和驱动开关元件；有机发光二极管，设置在子像素中的保护层上以从驱动开关元件接收驱动电流，其中，数据线通过层间绝缘层和栅极绝缘层设置在缓冲层上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴东昱，姜哲圭，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR