【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪，特别涉及通过在规定波长带中积分(integration)的方式，改善薄膜层对经过带通的光线的反射度分布曲线建模方法的反射度分布曲线建模方法、应用该方法的厚度检测方法及厚度检测反射仪。
技术介绍
在LCD、半导体领域中广泛应用的透明薄膜层在其特性上其厚度分布度对后续工序产生较大的影响。因此在整个产业中需要有一种能够监视薄膜层厚度之系统。在薄膜层厚度检测中，被广泛应用的装置有非接触式检测装置干扰计(Interferometer)和反射仪 (Reflectometer)0现有的反射仪将白光投射到薄膜层后，用分光计分光被薄膜层反射的光线，以获得包含在白色光中的针对各个波长的光线的强度(intensity)。这种强度数据将被应用到薄膜层反射度的计算上，并最终完成用于表示针对波长的反射度变化的反射度分布曲线。为了确定薄膜层的厚度，当前被广泛应用的是将通过如上方法检测到的反射度分布曲线和通过数学式建模的反射度分布曲线相比较的方法。该方法首先假设有具有不同厚度的多个薄膜层，并针对各薄膜层，利用数学式...
【技术保护点】
１．一种反射度分布曲线建模方法，针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，其特征在于，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分所述强度分布曲线后将其结果设定为所述特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由所述反射度分布曲线和所述强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为所述特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把所述特定波长输出强度除以所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴喜载，安祐正，金星龙，
申请(专利权)人：SNU精度株式会社，
类型：发明
国别省市：KR
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