薄膜检查装置包括：存储部（１４），该存储部保存有至少２个特征量特性，所述２个特征量特性由以下方式得到：从因第１透明薄膜和第２透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少２个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与第１透明薄膜的膜厚和第２透明薄膜的膜厚分别建立关联；对被检查基板（Ｓ）从透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部（１１）；接受来自被检查基板（Ｓ）的反射光的受光部（１２）；和运算部（１５），从基于受光的反射光的分光反射光谱求出在存储部（１４）中保存的各特征量的实测值，使用求出的各特征量的实测值和在存储部（１４）中保存的特征量特性，分别求出第１透明薄膜和第２透明薄膜的膜厚。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在太阳能电池、显示器等中适用的光电转换薄膜装置中进行薄膜的检查的薄膜的检查装置及其方法。
技术介绍
现有技术中，在太阳能电池等光电转换薄膜装置中，为了使发电效率提高，提出有在透明玻璃基板与透明导电膜之间设置用于使反射率降低的反射率调整层的方案。该反射率调整层可以是单层，也可以由多个层构成，此外，基于一般所知的菲涅耳反射的多重干涉膜的解析，设计各层的材料的折射率和膜厚。该反射率调整层还具有以下功能消除氧化锡 (SnO2)、ΙΤ0、氧化锌(掺杂镓、掺杂铝)等透明导电膜的由面内的膜厚不均而产生的面内的反射光谱的不同，即色相的不均(颜色不均)。在制造太阳能电池等光电转换薄膜装置时，由光电效率等观点出发，使在透明玻璃基板上层叠的各层的膜厚在适当范围极为重要。在专利文献1中，公开有以下方法在透明玻璃基板上层叠形成透明薄膜(反射率调整层)和透明导电膜时，在形成各层时对膜厚进行计测。专利文献1国际公开第00/13237号小册子
技术实现思路
在光电转换薄膜装置的制造中，一般是在一个成膜装置内在透明玻璃基板上连续地形成反射率调整用的透明薄膜和透明导电膜。从而，通常从成膜装置输出在透明玻璃基板上依次层叠有反射率调整用的透明薄膜和透明导电膜的状态的基板。成膜装置内必须维持适于成膜的条件，该成膜条件被严格管理，所以不优选在装置内对膜厚进行计测。此外，进一步，成膜装置内通常存在成膜用气体，作为成膜条件，通常为高温环境。从而，若在成膜装置内导入膜厚计测用的计测设备，则必须解决高温环境、气体环境、计测窗的污染等各种课题，在成膜装置内对各个薄膜的成膜依次实施膜厚计测是不现实的。从而，对于在上述的专利文献1中公开的膜厚的计测方法，不能够适用于制造工序，期望有以致反射率调整用的透明薄膜的上形成有透明导电膜的状态下、换言之即在该成膜装置中经过全部工序以后，对各层的膜厚进行计测的装置。本专利技术鉴于这种情况而研发，其目的在于提供一种能够在层叠多个薄膜的状态下对各薄膜的膜厚进行计测的。为了解决上述课题，本专利技术采用以下的手段。本专利技术的第1方式是一种薄膜检查装置，对在透明玻璃基板上依次形成有反射率调整用的第1透明薄膜和第2透明薄膜以及透明导电膜的被检查基板，求出该第1透明薄膜和该第2透明薄膜的膜厚，该薄膜检查装置的特征在于，包括存储部，该存储部保存有至少2个特征量特性，上述2个特征量特性由以下方式得到从因上述第1透明薄膜和上述第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与上述第1透明薄膜的膜厚和上述第2 透明薄膜的膜厚分别建立关联；对上述被检查基板从上述透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部；接受来自上述被检查基板的反射光的受光部；和运算部，该运算部从基于由上述受光部接受的反射光的分光反射光谱求出在上述存储部中保存的各上述特征量的实测值， 使用求出的各上述特征量的实测值与在上述存储部中保存的上述特征量特性，分别求出上述第1透明薄膜和上述第2透明薄膜的膜厚。根据本方式，因为从因第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选定至少2个特征量，使用该特征量对第1透明薄膜和第2透明薄膜的膜厚进行运算，所以即使是在作为计测对象的多个薄膜上进一步形成有透明导电膜等薄膜的状态，也能够对作为计测对象的各个薄膜的膜厚基于其反射特性而求出。由此，例如，能够适用在使用薄膜的光电转换薄膜装置的制造线上，能够使膜厚检查的效率提高。例如，若构成反射率调整层的各薄膜的膜厚变动，则对反射率调整层所期待的功能(例如，使反射减少、消除颜色不均等)的效果变动。即，膜厚处于合适的范围，则对反射率调整层的功能进行评价的评价指标被收于预定的范围内。换言之，只要用于对反射率调整层所期待的功能进行评价的参数进入合适的范围内，则能够视为第1透明薄膜和第2透明薄膜的膜厚的组合处于良好的范围内。从而，在本方式中，作为因第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量，适用用于对反射率调整层所期待的各种功能进行评价的参数。在上述薄膜检查装置中，优选在上述存储部中保存的特征量特性中包含根据上述第1透明薄膜的膜厚而反射率变动的波长的反射率或者反射率的最大值。由此，能够提高第1透明薄膜的膜厚计测精度。在上述薄膜检查装置中，优选在上述存储部中保存的特征量特性中包含以下任意一种波长大约900nm以上且大约1200nm以下的最大反射率与最小反射率的差值；波长大约500nm以上且大约900nm以下的平均反射率；波长大约550nm以上且大约700nm以下的最大反射率与最小反射率的差值；和波长大约550nm以上且大约700nm以下的最小反射率。上述特征量是对第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少任意一个的膜厚变动特别灵敏度高的特征量。从而，通过使用这种特征量进行膜厚计测，能够使薄膜的膜厚计测精度进一步提尚。上述波长大约900nm以上且大约1200nm以下的最大反射率与最小反射率的差值是用于对第2透明薄膜的膜厚进行评价的参数，例如，当第2透明薄膜的膜厚比容许膜厚更厚时，显示差值变大的倾向。波长大约500nm以上且大约900nm以下的平均反射率是相当于对反射率调整层的功能的评价量的参数。即，反射率调整层的目的是降低太阳能电池等光电转换薄膜装置的分光灵敏度的中心波段的反射率，所以通过观察波长500nm以上900nm以下的平均反射率， 能够进行反射率调整层的功能评价。该平均反射率越小越优选。波长大约550nm以上且大约700nm以下的最大反射率与最小反射率的差值是关于颜色不均抑制效果的参数，在该波段的反射率的差值较小的情况下，能够抑制色相，提高颜色不均抑制效果，进而该差值越小，越能够抑制平均反射率，有助于对发电效率。波长大约550nm以上且大约700nm以下的最小反射率是关于发电效率评价的参数，最小反射率越小越优选。在上述薄膜检查装置中，各上述特征量特性使用以第1透明薄膜的膜厚和第2透明薄膜的膜厚作为变量的多项式而表示，上述运算部可以求出以下的(1)式的W为最小时的X的值作为第1透明薄膜的膜厚、y的值作为上述第2透明薄膜的膜厚。数学式1权利要求1.一种薄膜检查装置，对在透明玻璃基板上依次形成有反射率调整用的第1透明薄膜和第2透明薄膜以及透明导电膜的被检查基板，求出该第1透明薄膜和该第2透明薄膜的膜厚，该薄膜检查装置的特征在于，包括存储部，该存储部保存有至少2个特征量特性，所述2个特征量特性由以下方式得到 从因所述第1透明薄膜和所述第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与所述第 1透明薄膜的膜厚和所述第2透明薄膜的膜厚分别建立关联；对所述被检查基板从所述透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部；接受来自所述被检查基板的反射光的受光部；和运算部，该运算部从基于由所述受光部接受的反射光的分光反射光谱求出在所述存储部中保存的各所述特征量的实测值，使用求出的各所述特征量的实测值与在所述存储部中保存的所述特征量特性，分别求出所述第1透明薄膜和所述第2透明薄膜的膜厚。2.根据权利要求1所述的薄膜检查装置，其特征在于本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种薄膜检查装置，对在透明玻璃基板上依次形成有反射率调整用的第１透明薄膜和第２透明薄膜以及透明导电膜的被检查基板，求出该第１透明薄膜和该第２透明薄膜的膜厚，该薄膜检查装置的特征在于，包括：存储部，该存储部保存有至少２个特征量特性，所述２个特征量特性由以下方式得到：从因所述第１透明薄膜和所述第２透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少２个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与所述第１透明薄膜的膜厚和所述第２透明薄膜的膜厚分别建立关联；对所述被检查基板从所述透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部；接受来自所述被检查基板的反射光的受光部；和运算部，该运算部从基于由所述受光部接受的反射光的分光反射光谱求出在所述存储部中保存的各所述特征量的实测值，使用求出的各所述特征量的实测值与在所述存储部中保存的所述特征量特性，分别求出所述第１透明薄膜和所述第２透明薄膜的膜厚。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：坂井智嗣，
申请(专利权)人：三菱重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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