本发明专利技术提供一种薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置，其即使是在彩色滤器方式的OLED面板的情况下，也可以以单一波长、高可靠性地进行检查、修正，能够提高成品率。对具有在发光层形成的金属电极膜和在发光层的与金属电极膜相反的一侧形成的透明电极膜的薄膜显示元件的发光装置进行检查，修正不良部位的方法及其装置被构成为：对金属电极和透明电极施加电力来使发光层发光，相对金属电极从透明电极侧观察该发光层的发光装置，检测发光层中不发光的位置，根据该检测出的发光层中不发光的位置的信息，从与透明电极相反的一侧对金属电极照射激光，去除发光层中不发光的位置的上方的金属电极膜。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检查FPD的非点灯像素，进行非点灯像素的修正的检查修正方法以及检查修正装置，特别是涉及OLED面板等薄膜显示元件的检查、适用于集成的薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置。
技术介绍
作为FPD(Flat Panel Display)的一种的用于有机 EL(Electro Luminescence) 显示装置、照明装置的OLED(Organic Light Emitting Diode)面板根据光取出方向的不同被分为顶部发光(top emission)型和底部发光(bottom emission)型两种,顶部发光型一般为图I所示的面板构造。即，顶部发光型在玻璃基板801上形成TFT层(Thin Film Transistor) 802，在其上层积透明电极803、有机发光层804、金属电极805、绝缘层806，用树脂807和封装玻璃808封装。在透明电极803和金属电极805之间施加电压，在有机发光层804内部使电子与空穴结合来发光。在该结构中，顶部发光型从与玻璃基板808相反侧取出光810。另一方面，底部发光型如图2所示，从玻璃基板801—侧取出光820。图2 所示的底部发光型需要从TFT回路形成部以外的区域取出光，因此开口率低，但是有利于大型化的结构。另一方面，图I所示的顶部发光型从与TFT回路形成部相反侧取出光，因此具有高的开口率，但是难以大型化。因此，顶部发光型多用于便携式电话等小型面板，底部发光型多用于电视机等大型面板。有机发光层804的膜厚为IOOnm左右，非常薄是OLED面板的特征。在制造处理过程中，如果因装置产生灰尘等而混入了异物，使透明电极803和金属电极805短路，则相应像素成为不发光。伴随OLED面板的大型化，每个面板的异物数量增加，非点灯像素增加，因此，为了提供成品率，非点灯像素修正的要求变高。作为OLED面板的非点灯像素的修正技术，目前已知有日本特开2001-118684号公报(专利文献I)、日本特开2005-276600号公报(专利文献2)记载的技术。根据专利文献I记载的技术，用激光从与非点灯像素对应的金属电极去除短路发生区域。由此，被部分去除的金属电极和透明电极之间的有机发光层变得可发光，非点灯像素被修复。根据专利文献2记载的技术，通过观察光学系统检测非点灯像素内的异物的位置，用激光以带状地去除异物的周围。由此，异物存在部位被孤立，短路被解除，非点灯像素被修复。专利文献1、2即使能够修复像素，但是由于激光照射在像素内产生成为非发光的部分，因此需要把成为非发光的面积抑制得较小。另一方面，显示器的颜色显示方式被分为三类，三色方式(图3)、色变换方式(图4)，彩色滤波方式(图5)。图3 图5以底部发光型为前提进行表记。图3的三色方式是分别分开涂抹发出红色光811的有机材料膜8041、发出绿色光812的有机材料膜8042、发出蓝色光813的有机材料膜8043的方式，为了提高色纯度，有合用彩色滤波器的情形。图4的色变换方式是通过使用蓝色发光有机材料膜8044，使其蓝色光814透过将其进行颜色变换为红色光的色变换层8091和将其进行颜色变换为绿色光的色变换层8092，来获得红色光815、绿色光816的方式。图5的彩色滤波方式是通过使用白色发光有机材料膜8045， 透过进行色变换为红色光的彩色滤波器8093、进行色变换为绿色光的彩色滤波器8094、进行色变换为蓝色光的彩色滤波器8095，来获得红色光817、绿色光818、蓝色光819的方式。在图3所示的三色方式中，需要分开涂抹三种有机材料，分开涂抹目前利用真空蒸发。但是，真空蒸发会发生由于阴影掩膜的热膨胀引起的成膜斑，难以应对面板大型化。 作为其它分开涂抹的方法，也有印刷技术，但是印刷技术闻分子蓝色发光有机材料的开发滞后。在图4的色变换方式中，蓝色发光有机材料的开发难于红色、绿色发光有机材料。并且色变换效率低成为课题。在图5的彩色滤波方式中，仅使用白色发光有机材料，因此不需要分开涂抹有机材料。虽然发生彩色滤波器中的光量损耗，但是关于彩色滤波器的制造工序可以转用液晶面板中培育出的技术，可以预测在面板的大型化方面，彩色滤波方式将成为主流。彩色滤波器红绿蓝的分光透射率不同。图6中表示彩色滤波器的分光透射率的一例。601表示红色滤波器8093的分光透射率特性，602表示绿色滤波器8094的分光透射率特性，603表示蓝色滤波器8095的分光透射率特性。各彩色滤波器8093、8094、8095在透过的光的波长频带以外，透射率极低。根据涂布材料、膜厚透射率多少存在差异，但是大致表示具有同样的倾向。例如如图7所示，在使用波长532nm的激光830的情况下，绿色的彩色滤波器8094透射率高，因此可以使光到达金属电极803，可以对金属电极803进行加工，但是在红色和蓝色的彩色滤波器8093和8095中大部分的能量被彩色滤波器8093和8095吸收，无法使光到达金属电极803。另外，为了使高能量的光到达金属电极803，如果增加照射能量，则彩色滤波器8093和8095先于金属电极803融解。在专利文献I和专利文献2记载的专利技术中，从透明电极805侧对金属电极803照射激光，进行消除与不良部位对应的金属电极803的一部分的修正。即使在红绿蓝彩色滤波器8093 8095中的任意一个中使用具有高透射率的波长的激光，在其它两个彩色滤波器中透射率低，在来自透明电极805侧的激光照射中，用单一波长的激光无法进行全部像素的修正。另一方面，如果对彩色滤波方式的OLED面板，进行从透明电极805侧对金属电极 803进行异物的检测，从与透明电极805相反侧对金属电极803进行激光照射，则可以忽略彩色滤波器8093 8095的分光透射率而对金属电极803进行加工。但是，仅简单地连接异物检测单元和激光加工单元，难以以微米单位匹配通过异物检测单元检测出的异物检测位置和基于激光加工单元的激光加工位置。并且，在使OLED面板的透明电极805侧朝上， 通过异物检测单元检测出异物后，为了从金属电极803侧进行激光照射，需要将OLED面板翻转后进行激光照射，会导致装置的复杂化、大型化、生产节拍的延长。另外，因为无法从金属电极803侧来检测异物，所以使OLED面板机械地移动到预先求出的坐标。但是，存在如下课题由于当将OLED面板翻转时发生的错位、平台的移动误差等而无法将OLED面板移动到所希望的位置，进行激光照射的位置偏移，增加修正失败的情况
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置，以解决上述课题，即使是彩色滤波方式的OLED面板，也可以用单一波长、高精度地进行检查、 修正，提高成品率。为了解决上述课题，在本专利技术中，在对具有在发光层上形成的金属电极膜和在发光层的与金属电极膜相反的一侧形成的透明电极膜的薄膜显示元件的发光的状态进行检查，修正不良部位的方法中，对金属电极和透明电极施加电力，使发光层发光，相对金属电极从透明电极侧观察该发光层的发光状态，检测发光层中不发光的位置，并根据该检测出的发光层中不发光的位置的信息，从与透明电极相反的一侧对金属电极照射激光，来去除发光层中不发光的位置的上方的金属电极膜。另外，为了解决上述课题，在本专利技术中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：中尾敏之，丸山重信，片冈文雄，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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