【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有电极桥的加速度传感器
技术介绍
电容式横向加速度传感器根据现有技术实现为同时具有电极功能的、可运动的振动质量。该振动质量通过弹簧可运动地与悬挂装置连接，悬挂装置本身与其下方的基底固定连接。存在固定地与位于其下的基底连接的反电极用于电探测，这些反电极与振动质量一起形成电极单元。为了抑制不希望的干扰影响，这些电极单元通常关于传感器的中轴线对称设置，即在图1中在悬挂装置的左边和右边。在此在两侧都需要电极之间的可导电的连接。在迄今的传感器中这些连接或者通过掩埋的硅印制导线进行，或者通过表面上的、传感器芯之外的硅印制导线进行。这种传感器例如在2003年图宾根大学Maute，Matthias的RB博士论文“表面微机械传感器作为电测试结构用于描述其制造过程特征”中详细描述。
技术实现思路
本专利技术涉及一种电容式微机械加速度传感器，具有基底和安置在该基底上方的微机械功能层，其中，在该微机械功能层中安置一振动质量、一悬挂装置和一些固定电极。这些固定电极上下叠置地在悬挂装置的第一和第二侧借助掩埋的导线组相互电连接。这些固定电极在悬挂装置的第一和第二侧之间借助微机械功能层中的第一和第二导体...
【技术保护点】
１．电容式微机械加速度传感器，－具有基底（１０）和安置在该基底（１０）上方的微机械功能层，－在该微机械功能层中安置环形的振动质量（２０），该振动质量包围一内部区域（２５），－在该内部区域（２５）中安置一悬挂装置（４０），该悬挂装置固定在基底（１０）上并且借助一弹簧装置（７０）悬挂该环形的振动质量（２０），－在该内部区域（２５）中，在悬挂装置（４０）的第一侧（１１０）在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极（３０和３５）并且在悬挂装置（４０）的第二侧（１２０）在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极（３０和３５），－在所述第一和第二侧（１１０和１２０）分别使第一固定电极（３０...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·克尔贝尔，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE
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