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本发明涉及一种电容式微机械加速度传感器，具有基底（１０）和安置在该基底（１０）上的微机械功能层，其中，在该微机械功能层中安置一振动质量（２０）、一悬挂装置（４０）和一些固定电极（３０，３５）。这些固定电极３０或３５相继地在悬挂装置（４０）的...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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