根据本发明专利技术，提供能够不损害操作效率使过滤器寿命延长和再生的过滤方法。另外，还提供将过滤器效率良好地再生的过滤器的再生方法和再生装置。本发明专利技术所述的过滤方法是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法，其特征在于，在进行过滤时、过滤暂时中止时或结束后照射频率３０ｋＨｚ以上的超声波。通过以该过滤方法过滤研磨用组合物，可以效率良好地进行纯化。另外，本发明专利技术所述的过滤器的再生方法包括对使用后的树脂制过滤器照射频率３０ｋＨｚ以上的超声波。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及各种液体、特别是含有研磨剂等微粒作为分散介质的液体的过滤方法 以及过滤中使用的过滤器的再生方法。
技术介绍
在使用研磨剂与研磨垫的抛光操作中，对加工面的表面平滑度以及无缺陷性的要 求水平逐年变高。与之相伴，研磨用组合物中所含磨粒的粒径逐渐变得更小。另外，通常磨 粒的粒径具有分布，在含有相对于目标粒径极其大的粗大粒子的情况下，由于该粗大粒子 是导致刮痕等表面缺陷的原因，因此需要将其除去。这类分散于液体介质中的粗大粒子，通常通过过滤器除去。为了效率良好地捕捉 粗大粒子，期望使用开孔更细的过滤器。但是，过滤器的开孔越小则越容易发生堵塞。若发 生堵塞，则粗大粒子的除去效率变差，最终过滤器变得不能使用。因此，期待不易发生堵塞 的过滤方法、或在发生堵塞时可以容易地使其恢复的方法。基于这样的观点，研究了各种过滤方法。专利文献1中记载了 对过滤流体的过 滤器直接施加超声波振动而抑制流体的粘度增加、利用振动而提高了过滤器的效率的过滤 器，和在过滤器堵塞时通过对过滤器直接施加振动而使堵塞的流体的粘度降低、利用振动 来粉碎从而使背压清洗容易的过滤器。专利文献2中记载了下述过滤方法，其特征在于，在液体的过滤方法中，一边连续 地或间断地照射超声波一边进行过滤。专利文献3记载了下述过滤装置，其是将中空丝膜、无纺织物、连续气泡海绵、纤 维、粒状体等滤材盛装于壳体内而成的过滤装置，其中，在壳体的相对的两个端面分别安装 超声波振动器，并将该振荡器的安装位置构成在各振动器产生的超声波的相位不重合的位 置上。在上述文献中，虽然记载了以改善过滤性为目的而利用超声波的情况，但没有提 供对于除去数10 数IOOnm的研磨剂用粒子中的粗大粒子(数10(Γ数IOOOnm)的工序有 效的方法。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2004-050137号公报 专利文献2 日本特开平08-281020号公报 专利文献3 日本特开平07-275615号公报。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供可满足以下全部的过滤方法或 过滤器再生方法除去堵塞、过滤器的寿命延长、以及过滤器更换间隔的延长。解决课题的手段本专利技术所述的过滤方法是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法，其特征在于，包括 在过滤时或过滤使用后对前述过滤器照射频率30kHz以上的超声波。另外，本专利技术所述的研磨用组合物的纯化方法的特征在于，包括使用前述过滤方 法对研磨用组合物进行过滤。另外，本专利技术所述的介质过滤器的再生方法的特征在于，包括对用于从溶剂中分 散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒成分的过滤中使用的、使用后的树脂制介 质过滤器照射频率30kHz以上的超声波。进一步地，本专利技术所述的过滤器再生装置的特征在于，具备能够对浸渍于清洗液 中的使用后的树脂制介质过滤器照射频率30kHz以上的超声波的超声波发生装置。专利技术效果根据本专利技术，通过在过滤时进行超声波的照射，能够防止过滤器堵塞而不损害过滤的 操作效率，可以延长过滤器的寿命。另外，通过在过滤结束时照射超声波，可以将杂质从已 经引起堵塞的过滤器除去，从而可以使过滤器的过滤能力再生。而且，由于可以在过滤器设 置于壳体或滤筒中的状态下进行，因而对工序的操作效率损害也小。另外，通过以其它独立 的过滤器再生装置进行过滤器再生，也可以进行过滤器再生而无需使过滤工序为特別的结 构。附图说明能用于本专利技术所述的过滤方法中的过滤设备的示意图。本专利技术所述的过滤器再生装置的侧面示意图。显示本专利技术所述的过滤器再生装置中过滤器的配置的上面示意图。具体实施例方式作为过滤对象的液体本专利技术所述的过滤方法中，作为进行过滤的对象的液体没有特别限制。即，对应于液体 中所含的成分与应从该液体中除去的成分，通过选择后述的过滤器，对于任意的液体均可 适用利用本专利技术的过滤方法。然而，本专利技术所述的过滤方法，对于从溶剂中分散有不溶微粒 成分的分散液或分散物中除去微粒、特别是粗大粒子等尤其有效。即，在分散于液体中的粒 子中，为了使具有期望粒径的粒子通过，同时将较期望范围更大的粒子、或其它相对较大的 杂质成分除去，而一边防止过滤器的堵塞一边进行过滤时，优选使用本专利技术的方法。因此，本专利技术所述的过滤方法，优选将分散介质中主要分散有liTlOOOnm的粒子 的液体作为对象。进而，更优选将分散介质中主要分散有2(Tl00nm的粒子的液体作为对 象。此处，粒径为通过BET法测定得到的粒径。需要说明的是，粒径的测定方法除此之外还 有光散射法、激光衍射法等。使用上述方法测定得到的粒径，虽然难以与通过BET法测定得 到的粒径直接比较，但考虑到测定方法的原理等，有时也可以利用通过BET法以外的方法 测定得到的粒径。这类液体的具体例之一为研磨用组合物。研磨用组合物是用于研磨例如硅基板、 碳化硅基板、金属氧化物、半导体器件基板、硬盘用基板、玻璃、或塑料等的、含有氧化铝、二4氧化硅、氧化铈、二氧化钛、二氧化锆等氧化物粒子、金刚石、氮化硅、氮化硼等磨粒粒子的 物质。其中，应用本专利技术所述的过滤方法的优选的研磨用组合物为含有胶体粒子的，最优选 含有硅胶的。本专利技术所述的过滤方法优选用于从上述研磨用组合物中除去原料中所含有的 粗大粒子等杂质、以及制备时纯化的凝集物及杂质。另外，优选不是对研磨用组合物本身而是对其原料应用本专利技术所述的过滤方法。 即，为了从含有作为研磨用组合物的原料的微粒磨粒的分散液中除去粗大粒子、凝胶、杂质 等，或为了除去磨粒之外的各种添加剂溶液中所含有的未溶解物、杂质等，也优选使用本发 明所述的过滤方法。将本专利技术所述的过滤方法应用于研磨用组合物，并不限于作为制品而填充到容器 中之前。在使用者实际用于研磨之前、或试图将已用过的研磨用组合物再生而再利用时也 可以应用本专利技术的过滤方法。过滤方法
本专利技术所述的过滤方法，包括使用过滤器过滤前述液体。此处，本专利技术所述的过滤方法 中必需使用树脂制介质过滤器。树脂制介质过滤器是指过滤器由树脂构成。此处，不必过 滤器全部均由树脂构成，也可以包含例如用于改善过滤器的机械强度的作为芯材的纤维或 金属等。但是这种情况下，也需要芯材由树脂被覆而使过滤液体仅与树脂接触。已知有各 种树脂制介质过滤器，可以根据目的使用任意的种类。优选使用树脂制介质过滤器仅由树 脂形成的过滤器本体构成的介质过滤器。另外，也可以使用由过滤器以及将其内包的滤筒 构成的滤筒状介质过滤器。上述滤筒状过滤器，其主要构件为树脂制，根据需要可在包装等 处使用橡胶。优选完全不使用金属的介质过滤器。这样的介质过滤器市售有作为微粒分离 用、或微生物分离用的各种介质过滤器，任一者均可使用。树脂制介质过滤器有将由聚丙烯等树脂构成的纤维无规且均勻地保持一定厚度 而成型得到的无纺织物型和在树脂膜上开有0.0广数μ m左右的孔而成型的膜型。本专利技术 中可以使用任一类型，但从过滤精度的观点出发优选使用膜过滤器。进一步地，膜过滤器大致存在以下2种形式。一者是作为为平面状的膜本身的平 面过滤器。另一者是将四边形的平面状膜的对边接合形成管状、并且赋予褶皱(t夕‘)而 压紧的膜过滤器。这样的管状过滤器通常一端或两端施以加工以使液体不泄漏，并且多以 盛装于滤筒中的状态进行操作。通常，工业上使用时，优选使用盛装于本文档来自技高网...
【技术保护点】
过滤方法，其是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法，其特征在于，包括在过滤时或过滤结束后对所述过滤器照射频率３０ｋＨｚ以上的超声波。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：森永均，
申请(专利权)人：福吉米株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。