微陀螺仪制造技术

本发明专利技术涉及一种用于确定关于ｘ、ｙ或ｚ轴的旋转运动的微陀螺仪。至少一个锚固定在基底上。几个（特别是四个）相对于锚径向振荡的质量块通过弹簧固定到锚上。使用驱动元件，以振荡方式在ｘ轴或ｙ轴方向上摆动至少单个质量块，以在基底偏斜时产生科里奥利力。使用传感器元件感测质量块因科里奥利力发生的偏斜。振荡质量块连接到至少一个远处的非振荡质量块，该非质量块能与基底上的振荡质量块一起围绕至少一个锚进行旋转。该远处质量块与传感器元件相连。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种与权利要求1的术语相对应的微陀螺仪。
技术介绍
微陀螺仪通常用于确定围绕x-y-z坐标系统的某个轴的旋转运动。因此，为确定 系统分别围绕三个轴中每个的旋转运动，需要三个这种微陀螺仪。因而控制微陀螺仪和评 估数据是昂贵且耗时的。因此，可以制造一种三维微陀螺仪，该微陀螺仪能确定在全部三个轴上的旋转。D. Wood等人在其1996年的文章“一种能同时感知三个轴的单片硅式陀螺仪”(A Monolithic Silicone Gyroscope Capable of Sensing about Three Axes Simultaneously)中提出了 一种陀螺仪，该陀螺仪可具有围绕中央锚设置的环形振荡质量块，能感知由可能产生的科 里奥利力所引起的倾斜和旋转运动。然而其缺点是，这种传感器的制造以及该质量块的驱 动是很困难或根本难以实现的。因此，D. Wood等人的设计几乎只停留在理论层面。在“一种抵抗耦合效应的创新型微陀螺仪的设计及其动力学分析”(Design and Dynamics of an Innovative Microgyroscope against Co本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于确定围绕ｘ轴、ｙ轴或ｚ轴的旋转运动的微陀螺仪，该微陀螺仪具有：　　基底，该基底上固定有至少一个锚；　　多个质量块，优选为四个关于所述锚进行径向振荡的振荡质量块，在这种情形下，这些振荡质量块用弹簧固定至所述锚；　　驱动元件，用于使至少单个质量块在ｘ轴或ｙ轴方向上振荡摆动，以在基底偏斜时产生科里奥利力，以及　　传感器元件，用于感测所述质量块因产生的科里奥利力而发生的偏斜；　　其特征在于：所述振荡质量块连接至至少一个附加质量块，该附加质量块不振荡，但能与振荡质量块一起在基底上围绕至少一个锚旋转，且该附加质量块配备了附加的传感器元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE102008002748.02008年6月27日1.用于确定围绕χ轴、y轴或Z轴的旋转运动的微陀螺仪，该微陀螺仪具有基底，该基底上固定有至少一个锚；多个质量块，优选为四个关于所述锚进行径向振荡的振荡质量块，在这种情形下，这些 振荡质量块用弹簧固定至所述锚；驱动元件，用于使至少单个质量块在χ轴或y轴方向上振荡摆动，以在基底偏斜时产生 科里奥利力，以及传感器元件，用于感测所述质量块因产生的科里奥利力而发生的偏斜；其特征在于所述振荡质量块连接至至少一个附加质量块，该附加质量块不振荡，但能 与振荡质量块一起在基底上围绕至少一个锚旋转，且该附加质量块配备了附加的传感器元 件。2.根据权利要求1所述的微陀螺仪，其特征在于所述传感器元件设置在所述振荡质 量块的下方，以感测所述振荡质量块的偏斜。3.根据以上任一项权利要求所述的微陀螺仪，其特征在于 绕着所述振荡质量块。4.根据以上任一项权利要求所述的微陀螺仪，其特征在于 簧固定至所述基底。5.根据以上任一项权利要求所述的微陀螺仪，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历桑德鲁·罗基，
申请(专利权)人：感应动力股份公司，
类型：发明
国别省市：AT