【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种静电驱动电容检测三轴微陀螺仪，其特征在于：它包括一个具有三个振动梁的等边三角形振子；三个与振动梁长度方向平行且具有间隙的驱动电极；六个与振动梁长度方向平行且具有间隙的侧面检测电极；三个与基底表面平行且和三角形振子表面具有间隙的上基板检测电极；以及上基板和下基板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，关冉，陈文元，孙永明，吴校生，崔峰，刘武，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31
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