压电驱动电容检测微固体模态陀螺制造技术

本发明专利技术公开一种微机电技术领域的压电驱动电容检测微固体模态陀螺，其中弹性微振子、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面固定，压电驱动电极位于弹性微振子上表面，和弹性微振子形成固定联结，参考振动感应电极、科氏力感应电极的侧壁和相邻方形弹性微振子侧壁之间有微小的间隙，形成参考振动检测和感应振动检测的极间距可变电容。本发明专利技术利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，具有高的抗冲击、抗震动能力；工作频率高，有利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；封装的难度小，可靠性高，生产成本低；采用压电激励和电容检测，有利于提高参考振动的驱动力，同时也便于集成，易于批量化生产，也减小了寄生电阻或电容的影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机电
的微陀螺，具体是一种压电驱动电容检测微固体模态陀螺。
技术介绍
在过去的一个世纪里，陀螺技术经历了一系列的革命性发展历程。20世纪初， Elmer Sperry专利技术了陀螺罗经，并将它应用在航海导航中。20世纪50年代，已经实现了采用框架陀螺和加速度计系统来感应飞行器的六自由度运动。这些早期的陀螺系统只用于方位参考，因此对它们没有较高的精度要求。由于框架式陀螺系统的高复杂性和高费用，20世纪70年代开始兴起发展捷联式惯性参考系统。要想获得足够高的性能，捷联式系统要求有较高的精度，它的陀螺精度漂移要低于0. 01deg/ho为了满足这样的精度需求，人们开发出了具有超高精度和高可靠性的基于^gnac效应的光学陀螺。光学陀螺体积大、价格昂贵， 因此主要应用于航天、航海和航空领域中。在过去的30多年里，随着MEMS技术的出现和逐步发展，国内外科研人员一直在致力于微惯性传感器的开发，力求制造出体积小、价格便宜、功耗低的高性能MEMS微陀螺。经对现有技术的文献检索发现，日本神户大学的K. Maenaka等人在2006伊斯坦布尔的第19届IEEE MEMS会本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电驱动电容检测微固体模态陀螺，包括：弹性微振子、压电驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，其中弹性微振子、参考振动感应电极，科氏力感应电极都是通过下表面进行固定，它们都是相互独立的；压电驱动电极分布在弹性微振子上表面，和弹性微振子形成固定联结；参考振动感应电极、科氏力感应电极位于方形弹性微振子侧面，且它们的侧壁与弹性微振子的侧面之间有间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴校生，王铮，胡小骏，陈文元，张卫平，崔峰，刘武，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31