下载压电驱动电容检测微固体模态陀螺的技术资料

文档序号:7117640

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本发明公开一种微机电技术领域的压电驱动电容检测微固体模态陀螺,其中弹性微振子、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面固定,压电驱动电极位于弹性微振子上表面,和弹性微振子形成固定联结,参考振动感应电极、科氏力感应电极的侧壁和相邻方形弹...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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