红外滤光器及红外滤光器的制造方法技术

本发明专利技术的红外滤光器包括由红外透射材料形成的衬底和在衬底的一个表面侧上并排排列的多个过滤部件。各过滤部件包括：第一λ／４多层膜，其中将两种具有相互不同的折射率但相同的光学膜厚度的薄膜交替堆叠；第二λ／４多层膜，其中将两种薄膜交替堆叠，所述第二λ／４多层膜在第一λ／４多层膜的与衬底侧的相反侧上形成；和置于第一λ／４多层膜和第二λ／４多层膜之间的波长选择层，其中根据所需选择波长，所述波长选择层具有与其他薄膜的光学膜厚度不同的光学膜厚度。第一λ／４多层膜和第二λ／４多层膜的低折射率材料由氧化物构成，且其高折射率材料由Ｇｅ所形成的半导体材料构成。波长选择层的材料与第一λ／４多层膜的次顶层薄膜的材料相同。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及红外滤光器及其制造方法。
技术介绍
已知滤光器由多层介电膜组成，其中具有相互不同的折射率但相同的光学膜厚度 (膜的光学厚度)的两种介电薄膜交替堆叠。介电膜材料的实例例如包括Ti02、Si02、Ta205、 Nb2O5, A1203、Si3N4、ZrO2^MgF2, CaF2 等。如图9所示，已经提出一种固态成像器件，其配有具有多种过滤部件4、22、4的滤光器200，其中各过滤部件配置为选择性透射入射光(例如WO 2005/069376 被称作专利文献1)。在具有附图说明图16所示的配置的固态成像器件中，在η型半导体衬底101的一侧表面处形成的P型半导体层102中，光接收元件103” 1032、10 在分别对应于过滤部件&、22、&的部分处形成。滤光器200的过滤部件4、22、4具有相互不同的选择波长。经由光学透明的绝缘层104，过滤部件&、22、4在光接收元件103^103^10 的各光接收面的一侧(图16中的端面侧)上形成。上述滤光器200的过滤部件4、22、4各自包含第一 λ/4多层膜21 ；第二 λ/4多层膜22;以及波长选择层23^23^23^本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种红外滤光器，包括：由红外透射材料形成的衬底；和在所述衬底的一个表面侧上并排设置的多个过滤部件，其中各过滤部件包括：其中两种具有相互不同折射率但相同光学膜厚度的薄膜交替堆叠的第一λ／４多层膜；其中所述两种薄膜交替堆叠的第二λ／４多层膜，所述第二λ／４多层膜在所述第一λ／４多层膜的与衬底侧的相反侧上形成；以及介于所述第一λ／４多层膜和所述第二λ／４多层膜之间的波长选择层，所述波长选择层根据所需的选择波长而具有不同于各薄膜的光学膜厚度的光学膜厚度，其中所述第一λ／４多层膜和所述第二λ／４多层膜的低折射率材料为氧化物且其高折射率材料为半导体材料Ｇｅ，和其中所述波长选择层的材料与所述第一λ／４多...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井孝彦，
申请(专利权)人：松下电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP