等离子体处理装置制造方法及图纸

一种等离子体处理装置，能够获得对确定在等离子体处理期间的异常放电的原因有用的数据。该等离子体处理装置在处理腔（３ａ）中持有基板（９）以使其经历等离子体处理。该等离子体处理装置被提供有：放电检测传感器（２３），检测处理腔（３ａ）内部的异常放电；以及照相机（２６），通过窗口部分（２ａ）拍摄处理腔（３ａ）内部的图像并输出运动图像数据。当检测到异常放电时，等离子体处理装置存储与提取目标时间段对应的运动图像数据作为历史数据，该提取目标时间段被设置为包括从异常放电的时间点往前一精确预定时间的在先时间点和异常放电的检测时间点，所述在先时间点例如是等离子体产生时间点或开始加载基板（９）的时间点。因此，可以获得对确定在等离子体处理期间的异常放电的原因有用的数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对诸如板的待处理对象执行等离子体处理的等离子体处理装置。
技术介绍
等离子体处理被公知为一种用于清洗或刻蚀待处理对象(诸如其上安装有电子部件的板)的表面处理方法。在等离子体处理中，待处理的板被放在形成处理腔的真空腔内。然后，在处理腔内产生等离子体放电，以使得作为等离子放电的结果而产生的离子和电子作用于板的表面，从而执行所希望的表面处理。为了以较高的质量稳定地执行等离子体处理，必须响应于根据处理目的而已提前确定的放电条件来适当地产生等离子体放电。因此，为了监视等离子体的产生的状态的目的，已提出了各种手段和方法(参见专利文件1至 3)。在专利文件1中，包括用于检测电势的探测电极的放电检测传感器被附接到包括处理腔的真空腔，并检测根据等离子体的改变的、在探测电极处感应的电势的改变，从而检测在处理腔中是否存在异常放电。在专利文件2中，由照相机来拍摄反应腔的内部的图像， 并且通过检测由异常放电造成的光的发射来指明异常放电的产生及产生位置。在专利文件3中，由诸如CCD的图像传感器来检测等离子体腔中的等离子体光，从而监视等离子体处理。相关技术文件专利文件专利文件1 JP-A-2本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种等离子体处理装置，包括：真空腔，形成容纳待处理对象的处理腔；等离子体处理执行部分，在所述处理腔中的减小的压力状态下将等离子体产生气体引入所述处理腔中，通过施加高频电压来激励所述等离子体产生气体，并对容纳在所述处理腔中的待处理对象执行等离子体处理；以及放电状态检测单元，检测所述处理腔中的异常放电，其中，所述等离子体处理装置包括：窗口部分，形成在所述真空腔处；照相机，通过所述窗口部分来拍摄所述真空腔的内部的图像，并输出运动图像数据；第一存储部分，存储从所述照相机输出的运动图像数据；第二存储部分，存储从所述第一存储部分中提取的运动图像数据；以及图像数据提取单元，当所述放电状态检测单元检测到异...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：野野村胜，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP