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一种等离子体处理装置，能够获得对确定在等离子体处理期间的异常放电的原因有用的数据。该等离子体处理装置在处理腔（３ａ）中持有基板（９）以使其经历等离子体处理。该等离子体处理装置被提供有：放电检测传感器（２３），检测处理腔（３ａ）内部的异常放电...
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