在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法技术

在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，步骤：a）清洗PET柔性衬底；b）将衬底冲洗、烘干，装入溅射室；c）装靶；d）靶基距为52mm；溅射功率为60W；溅射压强为5Pa；流量为30SCCM；e）溅射5min，停5min；f）溅射20min，在PET柔性衬底上形成了掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明专利技术的优点是：掺钛氧化锌的最佳成膜温度很低（100?C左右），而且先在衬底上沉积一同质缓冲层，提高了衬底的阻隔性，故有利于导电薄膜的成核与长大；衬底经丙酮溶液超声清洗、无水乙醇浸泡、去离子冲洗，提高其黏附性。故由此方法制备出的透明导电薄膜，其电阻率低，既具优良的导电性能，又具良好的透光性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体光电器件
，具体涉及一种在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法。
技术介绍
透明导电薄膜，其具有透明和导电双重功能，在平板显示器、薄膜太阳能电池、薄膜晶体管(TFT)、气敏元件、抗静电涂层以及半导体/绝缘体/半导体(SIS)异质结、现代战机和巡航导弹的窗口等领域具有广阔的应用前景。现有技术中，透明导电薄膜是在硬质衬底(玻璃和陶瓷)上制备的，但这些衬底材质脆、不易形变，限制了透明导电薄膜的应用。随着半导体工艺水平的发展，以柔性聚合物为衬底，制备各种薄膜半导体器件已成为现实。与硬质材料相比，在有机衬底上沉积的透明导电薄膜，不仅具有硬质衬底透明导电薄膜的光电性能，而且具有重量轻、可折叠、不易破碎、便于运输、设备投资少等优点。随着电子器件向小型化和轻便化方向发展，柔性衬底的透明导电薄膜有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品，因此其研究备受关注。但柔性衬底存在致命弱点是，一不耐高温，二对氧气、 水蒸气的阻隔性能差，三其与薄膜的黏附性不好。一、二不利于导电薄膜的成核与长大，三会导致薄膜的电阻率提高。而在制备诸如二氧化锡(Sn02)基薄膜、αη203)基本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．在ＰＥＴ柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，使用高真空磁控溅射仪，用室温循环水对其冷却降温，用高纯氩气作为溅射气体，其特征在于：包括如下步骤：ａ）取ＰＥＴ柔性衬底，置于５０～７０　ｏＣ的丙酮溶液中，超声清洗１５～２５ｍｉｎ；ｂ）将上述ＰＥＴ柔性衬底，用高纯去离子水反复冲洗、烘干，放入溅射室；ｃ）安装ＴＺＯ陶瓷靶材，其成分为ＴｉＯ２：ＺｎＯ　＝　１．６～２．６：９７．４～９８．４；ｄ）调整靶基距为５０～６０ｍｍ；溅射功率为５０～６５Ｗ；溅射压强在４～６Ｐａ；流量２５～３５ＳＣＣＭ；ｅ）开机溅射４～６ｍｉｎ，在ＰＥＴ柔性衬底上形成一柔性ＴＺＯ薄膜的同质缓冲层；停机４～６ｍｉｎ；ｆ）再开...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汉法，
申请(专利权)人：山东理工大学，
类型：发明
国别省市：37