温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，步骤：a）清洗PET柔性衬底；b）将衬底冲洗、烘干，装入溅射室；c）装靶；d）靶基距为52mm；溅射功率为60W；溅射压强为5Pa；流量为30SCCM；e）溅射5min，停5min；f）溅...
该专利属于山东理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。