一种表面具有金属镀层的硅料回收方法技术

技术编号:7117009 阅读:346 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种表面具有金属镀层的硅料回收方法,该方法是将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤:A:采用纯氢氟酸浸泡一定时间,直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止;B:采用王水煮泡一定时间;C:采用普通的硅材料清洗工艺清洗;D:采用离子水超洗。采用本发明专利技术,可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除,达到重新回收利用的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
目前,对于用重掺测试仪测试,有响声,表现为重掺的一种表面具有金属镀层的废硅料,通常情况下当废料处理,没有进行回收利用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能去除表面金属,回收硅料的。本专利技术采取的技术方案是,其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤A 采用纯氢氟酸浸泡一定时间,直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止;B 采用王水煮泡一定时间;C 采用普通的硅材料清洗工艺清洗;D 采用离子水超洗。所述的纯氢氟酸为工业级,体积浓度比为55 56%。所述的采用纯氢氟酸浸泡时间在5 10天。所述的王水为工业级硝酸和盐酸按体积1 3配比制成,配比前硝酸的体积浓度比为62 63%,配比前盐酸的体积浓度比为36 38%。所述的采用王水煮泡一定时间,是指将硅料放入王水至浸没,加热至100 120°C,保持时间在1小时以上。采用本专利技术,可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除,达到重新回收利用的目的。具体实施例方式下面结合具体的实施例对本专利技术作进一步说明。本专利技术将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤一、采用体积浓度比为55 56%,工业级的纯氢氟酸浸泡5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面具有金属镀层的硅料回收方法,其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤:A:采用纯氢氟酸浸泡一定时间,直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止;B:采用王水煮泡一定时间;C:采用普通的硅材料清洗工艺清洗;D:采用离子水超洗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:金利民郜勇军
申请(专利权)人:浙江矽盛电子有限公司
类型:发明
国别省市:33

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