一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置，目的在于解决现有技术中，通过安全液封罐吸收氯化氢的含量有限，大量的氯化氢随着尾气被排放到大气中的问题，该装置包括循环水泵、循环进水管、循环出水管、喷射水槽、尾气管、喷射水泵，所述喷射水泵的进水端设置有混合腔，所述循环水泵通过循环进水管和循环出水管分别与喷射水槽和混合腔相连，所述混合腔与尾气管相连，所述喷射水泵的出水端与喷射水槽相连。本实用新型专利技术结构简单，使用方便，易于安装，能够有限去除尾气中的氯化氢。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种尾气去除装置，特别是一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置。
技术介绍
在多晶硅的生产过程中，会产生含有氯硅烷的尾气，尾气通过管道输送至废气洗涤塔。在废气洗涤塔内，废气与塔顶喷淋而下的洗涤液同向和逆向接触，从而发生吸收。其中的氯硅烷发生水解，生成H4Si04、H2Si03、HCl和H2,在碱性环境下，其与NaOH中和反应生成硅酸钠、氯化钠；在酸性环境下，H4Si04、快失水，生成Si02。经过洗涤的废气中含有氢气、氮气及少量的氯化氢气体，再将废气通入安全液封罐中，其中一部分氯化氢被吸收，其余尾气则通过放空管排放到大气中。由于安全液封罐吸收氯化氢的能力有限，大量的氯化氢随着尾气被排放到大气中，从而对环境造成严重的影响。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于针对上述存在的问题，提供一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置，其结构简单，使用方便，易于安装，能够有限去除尾气中的氯化氢。本技术采用的技术方案如下一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置，包括循环水泵、循环进水管、循环出水管、 喷射水槽、尾气管、喷射水泵，所述喷射水泵的进水端设置有混合腔，所述循环水泵通过循环进水管和循环出水管分别与喷射水槽和本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置，包括循环水泵（１００）、循环进水管（１０１）、循环出水管（１０２）、喷射水槽（１０３）、尾气管（１０４）、喷射水泵（１０５），其特征在于：所述喷射水泵（１０５）的进水端设置有混合腔（１０６），所述循环水泵（１００）通过循环进水管（１０１）和循环出水管（１０２）分别与喷射水槽（１０３）和混合腔（１０６）相连，所述混合腔（１０６）与尾气管（１０４）相连，所述喷射水泵（１０５）的出水端与喷射水槽（１０３）相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾维华，
申请(专利权)人：四川瑞能硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：51