下载一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅尾气中氯化氢的去除装置,目的在于解决现有技术中,通过安全液封罐吸收氯化氢的含量有限,大量的氯化氢随着尾气被排放到大气中的问题,该装置包括循环水泵、循环进水管、循环出水管、喷射水槽、尾气管、喷射水泵,所述喷射水泵的进...
该专利属于四川瑞能硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川瑞能硅材料有限公司授权不得商用。

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