划线方法技术

本发明专利技术的划线方法，将刀片(14)转动自由地安装在刀片架(10)上。刀片架(10)做成圆筒形，在其前端设置安装部(16)。在架接头上设置开口部，利用磁铁吸引并安装刀片架(10)，由此使装拆容易进行。另外，在刀片架(10)的面上将刀片的偏置数据作为二维编码(17)加以记录。通过在更换刀片架时读出偏置数据并输入至划线装置，抵消偏置。这样，会节省在拆装刀片架时有关修正的必要操作，可以在短暂的装置停止期间内更换刀片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于在脆性材料基板上形成划线线条的划线装置、及其所使用的刀片架，特别涉及在保持划线线条形成用的滚轮刀片(划线滚轮)的刀片架上具有特征的划线装置、及刀片架。
技术介绍
以往，在液晶显示面板或液晶投影器基板等平板显示器等中，在制造过程中，素玻璃基板在粘合后被截断，形成规定大小的单个的面板。在截断该素玻璃基板等脆性材料基板时，有划线工序和断开工序，在划线工序中使用划线装置。图1是表示现有的划线装置的一例的概略立体图。该划线装置100中的移动台 101沿一对导轨102a、102b在y轴方向移动自由地被保持。滚珠丝杠103与移动台101螺纹接合。滚珠丝杠103由马达104驱动而旋转，使移动台101沿导轨102a、102b在y轴方向移动。在移动台101的上面设有马达105。马达105使工作台106在xy平面内旋转，按规定角度定位。脆性材料基板107放置在该工作台106上，由没有图示的真空吸引机构等保持。在划线装置的上部设有拍摄脆性材料基板107的对位标记的两台CCD照相机108。在划线装置100中，按跨过移动台101和其上部的工作台106的方式，沿χ轴方向利用支柱IllaUllb架设桥构件110。划线头112能沿设在桥构件110上的导向件113在 χ轴方向移动。马达114是使划线头112沿χ轴方向移动的驱动源。在划线头112的前端部，经由架接头120而安装有刀片架130。下面对安装在划线头112上的现有的架接头和刀片架进行说明。如图2所示的分解立体图那样，架接头120在上部具有轴承121，下方具有构成为L字形的架部122。在架部122的侧方设有定位用的销123。刀片架130如图3、图4所示是可转动地保持圆板状的滚轮刀片(以下简称为刀片)131的部件。刀片131利用销(未作图示)旋转自由地保持在下端中央的前端部，销由挡块132防止脱落。刀片131 —边与脆性材料基板压接一边滚动，形成划线线条。该刀片架130通过使其侧面与定位销123接触，定位在架接头120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。划线头112可升降移动地保持其下部的架接头120以及刀片架130。在划线头112上设有在其内部可以进行这样的升降动作的升降部，例如使用气压控制的气缸或由线性马达等驱动的电动升降部等。该升降部一边以适当的载荷使刀片131压接在脆性材料基板的表面上，一边使刀片131滚动，形成划线线条。其次，对在作为划线装置组装后，对划线动作所需的电以及机械方面的调整结束了的划线装置的划线动作进行说明。图5A、图5B是表示该处理顺序的流程图。在划线开始前，如图6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作台106上，在定位后进行吸引固定(步骤so)。之后，为了确认定位状况，使用设在划线装置上方的两台CCD照相机108，分别放大摄像基板上的左右两处的定位用的对位标记63a及63b，进行图像处理(步骤Si)。由于摄像后的放大图像在各自对应的监视器上显示，所以，操作人员可以一边确认其摄制的图像一边进行精确的定位作业。划线装置100通过图像处理，检测基板107从连接两台CXD 照相机的线、即工作台106的基准线A倾斜多少角度(Θ)放置，或者基板107从作为工作台106的基准的原点位置偏离多少放置(步骤S2)。根据其检测结果，划线装置100进入步骤S3，通过马达105的转动进行修正，使工作台106的倾斜角θ变成0。从工作台106的原点位置的偏离可以进行以下修正。关于y轴方向，使工作台106在y轴方向上移动与上述偏离量的y轴方向成分相当的量，另外，关于χ轴方向使划线头112的位置移动与上述偏离量的χ轴成分相当的量。另外，作为其它的修正方法，还有下述的方法。即，划线装置把上述偏离量分成χ轴成分和y轴成分，通过修正划线动作开始位置的位置数据的各轴成分的值，使划线开始位 置移动。若这样作也可以得到相同的结果。在更换划线对象的基板时，每次必定需要在划线开始前实行上述偏离量的修正作业。只要修正作业结束，就从所希望的位置开始划线动作。划线装置100使刀片架下降，使刀片一边与基板接触一边滚动，进行通常划线(步骤S5 S7)。之后，在该划线线条的形成之后，划线装置100使刀片架上升(步骤S8)，接着，使基板相对移动(步骤S9)，返回至 S50下面，利用图5B对步骤S9中所示的基板的移动进行详细说明。首先，划线装置100 判断作为控制程序内的控制数据的旗标FX是否为0 (步骤S10)。该旗标FX是在工作台转动时创建的旗标，初始化后成为0。只要旗标FX为0，就进入步骤Sll，判断χ轴方向的划线是否结束。如果未结束，则划线装置100通过移动工作台106相对移动基板(步骤S12)，返回至步骤S5，反复进行同样的处理。这样，通过反复该循环，可以结束χ轴方向的划线。在 χ轴方向的划线结束后，进入步骤S13，划线装置100设定旗标FX为1，进入步骤S14，使工作台106向右方向转动90度。之后，在步骤S15中判断y轴方向的划线是否结束，如果未结束，就进入步骤S16使工作台106移动，返回到步骤S5。如果χ轴方向的划线结束，则旗标FX即被建立，所以，划线装置100从步骤SlO进入到步骤S15，判断y轴方向的划线是否结束。在没有结束的情况下，划线装置100使基板相对地向y轴方向平行移动必要的移动量 (步骤S16)。之后，再次返回步骤S5，重复同样的划线动作。此后，当划线装置100判断在步骤S15中完全结束了 y轴方向的划线线条的形成时，使工作台向左方向转动90度，结束划线动作。划线装置100重新设定旗标FX，基板解除吸引，从工作台106拆下(步骤S17)。 接着，在工作台上放置另一基板时，也可以按同样的顺序进行划线动作。在新制造的划线装置100上安装使用架接头120时，或在使用划线装置的中途为了调整、修理或为了更换而拆除安装刀片131的刀片架130、划线头112或架接头120后，调整后再安装使用时，或在更换后安装另一构件进行使用时，需要用下述方法进行偏移量的修正作业。此时，为了简单地说明，假定以下的调整已经结束来进行说明。即，调整两台CXD 照相机内的一台的摄影图像的中心坐标，使之与划线线条的形成所必需的原点位置一致， 进而，在刀片架等构件安装后由刀片形成的划线线条预先调整成与工作台的χ轴方向的基准线平行。首先，为了精确测出划线装置100的驱动系统的原点位置和实际上刀片131在基板上开始形成划线线条的开始位置的偏移，必须进行测试划线。在进行测试划线时，操作人员把与一般的母基板不同的虚拟基板放置在工作台106上，实施从步骤SO到S3的前处理。 图7是表示由测试在虚拟基板上形成的划线和由CCD照相机拍摄的图像的对位标记的中心坐标PO的位置关系的模式图。只要划线头112或架接头120及刀片架130的各偏置量被修正处理并抵消，划线装置100就可以从中心坐标PO开始划线。可是，由于存在电及机械的误差，每个组装构件的值 都不同，故若不重新测定安装后的误差量而结束所需的修正处理的话，就不能从中心坐标PO进行划线。因此，操作人员使刀片架130下降，使刀片与虚拟基板接触(步骤S5'、S6')。之后，对虚拟基板进行测试划线，形成一根划线线条(S7')。之后，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种划线方法，使用了以下划线装置，该划线装置包括：设置脆性材料基板的设置机构，以面对所述设置机构上的脆性材料基板的方式设置的划线头，具备轴承并转动自由地设在所述划线头前端的架接头，以及在一端具有以包括倾斜部的方式切削了一面的安装部、在规定方向装拆自由地安装在所述架接头上、另一端具有旋转自由地安装的划线线条形成用的滚轮刀片的刀片架；其特征在于，所述架接头在下方形成有将所述刀片架的一端插入的开口，在所述开口的内侧埋设所述磁铁，设有与开口的中心轴垂直的平行销，所述刀片架的一端的至少一部分由磁性体构成，在将刀片架安装到架接头上之后，使所述划线头以及所述设置机构相对地在沿着设置机构的面的ｘ轴方向以及ｙ轴方向上移动，对设置机构上的脆性材料基板进行划线，上述的安装包括如下步骤：将刀片架的一端插入到架接头的开口中，使刀片架的倾斜部与平行销接触而相对于架接头定位，由磁铁吸引所述刀片架的磁性体而固定于架接头。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山本正男，田端淳，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP