静电电容型触摸屏面板及其制造方法技术

公开了一种触摸屏面板及其制造方法。该触摸屏面板包括：基板；位于基板上的电极形成部分；和位于电极形成部分之外的基板上的线路布线部分。电极形成部分包括在第一方向上彼此平行设置的多个第一电极序列和与多个第一电极序列交叉设置的多个第二电极序列。线路布线部分包括分别连接到第一电极序列的多个第一线路布线和分别连接到第二电极序列的多个第二线路布线。多个第一连接图案彼此分隔地形成在与第一和第二线路布线相同的水平层上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及。
技术介绍
诸如液晶显示器、电致发光显示器、和等离子体显示面板等显示设备由于响应时间快、能量消耗低、色彩再现好而近来引起注意。显示设备已经用于各种电子产品中，如电视、计算机监视器、笔记本电脑、移动电话、冰箱显示器、个人数字助理、和自动取款机。显示设备和使用者之间的界面通常使用各种输入装置来构建，如键盘、鼠标、和数位板。然而，使用者不得不学习如何使用诸如键盘和鼠标的输入装置，并且输入装置占据单独的空间。而且，由于输入装置而使显示设备难以操作。从而，对能够减少故障的简单方便的输入装置的需求日益增加。为了满足该需求，已提出一种在使用者用手指或笔直接接触显示设备的屏幕时输入信息的触摸屏面板。触摸屏面板是能够减少故障的简单输入装置，并且能够输入信息而不使用单独的输入装置。而且，因为使用者能够通过显示在触摸屏面板的屏幕上的内容很容易地操作触摸屏面板，所以触摸屏面板已经被应用于各种显示设备。基于感应触摸屏面板的被触摸部分的方法，触摸屏面板可以分类为电阻型触摸屏面板、电容型触摸屏面板、和电磁型触摸屏面板。在DC电压被施加到形成在电阻型触摸屏面板的上基板或下基板上的金属电极的状态下，电阻型触摸屏面板通过取决于电阻的电压等级来感应被触摸的部分。电容型触摸屏面板通过在导电层上形成等势面和感应电容型触摸屏面板的上和下基板的基于接触操作的电压变化位置来感应被接触的部分。电磁型触摸屏面板通过读取用电子笔触碰导电层所感生的LC值来感应被触摸的部分。下面参照图1和2描述现有技术的静电电容型触摸屏面板。图1是现有技术的静电电容型触摸屏面板的平面图。图2是沿图1的1-1’线和11-11’线的剖面图。如图1和2所示，现有技术的静电电容型触摸屏面板包括电极形成部分20、线路布线部分40、焊盘部分60和保护层50。电极形成部分20形成在基板10上。电极形成部分20包括在水平方向(例如X 轴方向)上彼此平行设置的多个第一电极21和在垂直方向(例如Y轴方向)上与多个第一电极21交叉设置的多个第二电极22。多个第一电极21和多个第二电极22彼此交叉，但是由绝缘层30彼此电绝缘。连接电极41使相邻的第一电极21彼此连接。连接电极41通过形成在绝缘层30中的接触孔30a和30b将相邻的第一电极21彼此连接，所述绝缘层30 覆盖第一电极21和第二电极22的上部。线路布线部分40形成在电极形成部分20的外部。线路布线部分40包括分别连接到多个第一电极21的多个第一线路布线42和分别连接到多个第二电极22的多个第二线路布线43。焊盘部分60包括分别通过多个第一线路布线42连接到多个第一电极21的多个第一焊盘61和分别通过多个第二线路布线43连接到多个第二电极22的多个第二焊盘62。保护层50覆盖电极形成部分20和线路布线部分40，并且防止第一电极21、第二电极22以及第一线路布线42和第二线路布线43暴露到外部。下面参照图3A到3D描述现有技术的静电电容型触摸屏面板的制造方法。如图3A所示，在包括电极形成部分、线路布线部分、和焊盘部分的基板10上进行诸如溅射工序的沉积工序，以在基板10的整个表面上沉积用于形成第一电极和第二电极的第一导电层。通常用氧化铟锡(ITO)层作为第一导电层。在形成了第一导电层的基板10 的整个表面上涂覆光致抗蚀剂。然后在基板10上进行使用第一掩模的光刻工序，以在电极形成部分上形成暴露第一导电层的第一光致抗蚀剂图案。在第一光致抗蚀剂图案所暴露的第一导电层上进行湿蚀刻工序以去除第一导电层。然后在剩下的第一光致抗蚀剂图案上进行灰化工序，以在基板10上形成多个第一电极21和与第一电极21交叉的多个第二电极 22。如图;3B所示，在上面形成了多个第一电极21和多个第二电极22的基板10上形成第一绝缘层30。然后进行使用第二掩模的光刻工序和蚀刻工序，以去除线路布线部分的第一绝缘层30和焊盘部分的第一绝缘层30，并且形成穿过电极形成部分的第一绝缘层30 的第一接触孔30a和第二接触孔30b。第一接触孔30a和第二接触孔30b暴露与第一接触孔30a和第二接触孔30b相邻的第一电极21中每一个的一部分。第一绝缘层30可以由氮化硅、氧化硅、或有机树脂等形成。如图3C所示，在形成了第一接触孔30a和第二接触孔30b的基板10的整个表面上进行诸如溅射工序的沉积工序，以形成第二导电层。第二导电层可以由铝(Al)或钼(Mo) 形成。在上面形成了第二导电层的基板10的整个表面上涂覆光致抗蚀剂。然后进行使用第三掩模的光刻工序和蚀刻工序，以在基板10的线路布线部分上形成第一线路布线42和第二线路布线43，并且在电极形成部分的第一绝缘层30上形成连接电极41。连接电极41 通过形成在第一绝缘层30中的第一接触孔30a和第二接触孔30b连接彼此分隔的第一电极21。如图3D所示，在上面形成了连接电极41以及第一线路布线42和第二线路布线43 的基板10的整个表面上形成作为保护层的第二绝缘层50。然后进行使用第四掩模的光刻工序和蚀刻工序来形成穿过第二绝缘层50的通孔50a、50b和50c。通孔50a、50b和50c暴露线路布线部分的第一线路布线42和第二线路布线43。然而，如上所述，现有技术的静电电容型触摸屏面板通过四个掩模工序来制备，四个掩模工序中的每一个都涉及光刻工序，光刻工序需要包括涂覆工序、对准工序、曝光工序、显影工序、清洁工序等一系列连续工序。因此，必需解决四个掩模工序所需的时间和成本的增加。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种能够通过减少掩模工序的数量和单件工时来提高生产率的。在一个方面，提供一种触摸屏面板，包括基板；电极形成部分，位于基板上，所述电极形成部分包括在第一方向上彼此平行设置的多个第一电极序列和与多个第一电极序列交叉设置的多个第二电极序列；线路布线部分，位于电极形成部分之外的基板上，所述线路布线部分包括分别连接到多个第一电极序列的多个第一线路布线和分别连接到多个第二电极序列的多个第二线路布线；多个第一连接图案，彼此分隔地形成在与多个第一和第二线路布线相同的水平层上；和绝缘层，用来在多个第一电极序列和多个第二电极序列的交叉处绝缘多个第一电极序列和多个第二电极序列，其中所述多个第一电极序列中的每一个包括彼此分隔的多个第一电极图案，其中所述多个第一电极图案中的每一个形成在相邻的第一连接图案的相对端上和所述相对端之间的基板上，其中相邻的第一电极图案用第一连接图案彼此连接。在另一方面，提供一种触摸屏面板的制造方法，包括第一工序，用来在基板上形成第一导电层，并且对第一导电层图案化以在基板上形成包括多个第一连接图案、多个第一线路布线、和多个第二线路布线的第一导电图案；第二工序，用来在上面形成了第一导电图案的基板的整个表面上形成绝缘层，使用半色调掩模形成具有第一高度和比第一高度大的第二高度的光致抗蚀剂图案，使用光致抗蚀剂图案对绝缘层图案化以暴露多个第一连接图案中每一个的第一部分和第二部分，在多个第一连接图案中每一个的中心部分上形成第一绝缘图案，和在多个第一线路布线上形成第二绝缘图案；和第三工序，用来在形成了第一和第二绝缘图案的基板上和光致抗蚀剂图案上形成第二导电层，采用剥离工序去除光致抗蚀剂图案和光致抗蚀剂图案上的第二导电层，形成包本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种触摸屏面板，包括：基板；电极形成部分，位于基板上，所述电极形成部分包括在第一方向上彼此平行设置的多个第一电极序列和与所述多个第一电极序列交叉设置的多个第二电极序列；线路布线部分，位于所述电极形成部分之外的基板上，所述线路布线部分包括分别连接到所述多个第一电极序列的多个第一线路布线和分别连接到所述多个第二电极序列的多个第二线路布线；多个第一连接图案，彼此分隔地形成在与多个第一和第二线路布线相同的水平层上；和绝缘层，用来在所述多个第一电极序列和多个第二电极序列的交叉处绝缘所述多个第一电极序列和多个第二电极序列，其中所述多个第一电极序列中的每一个包括彼此分隔的多个第一电极图案，其中所述多个第一电极图案中的每一个形成在相邻的第一连接图案的相对端上和所述相对端之间的基板上，其中相邻的第一电极图案由所述第一连接图案彼此连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：南承熙，金南国，丁英基，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR