【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种微电子
的微放 电器件，具体地说，涉及的是。
技术介绍
在人们的日常生活中，气体放电的应用十分广泛，比如臭氧发生器以及介质阻挡放电光源等等。但是在常温大气压下，气体需要几千甚至上万伏的电压才能形成稳定的放电。由浙江大学的惠国华等设计的基于定向碳纳米管气体放电结构，能将大气压下气体暗放电的工作电压降低至500V以下，使得利用气体击穿电压和放电电流的测量对气体定性定量检测的可行性和实用性大大提高。而西安交通大学的刘君华等设计的自持暗放电碳纳米管薄膜气体传感器能进一步将气体自持暗放电的工作电压降至200V以下。经对现有技术的文献检索发现，中国专利“基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构”(专利号=ZL 200510112218. 7，公开号CN1808111A)，该专利自述为“包括，衬底、微电极阵列、微电极条单元、传感器单元，其特征在于，所述微电极阵列设置在衬底上， 微电极阵列包括多个微电极条单元，每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，作为产生可控电场的结构，从而构成一个传感器单元，多个传感器单元组成微电极阵列，依据各个传感器单元内的相邻...
【技术保护点】
１．一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法，包括如下步骤：步骤１，在衬底上制备三维微放电电极；步骤２，通过旋涂的方法在微放电电极表面沉积聚合物介质薄膜；步骤３，形成介质和电极交替结构：利用光刻胶作为掩膜层，通过光刻、显影方法，对介质薄膜图形化，图形化后仅在微放电电极对中的一个电极表面覆盖有介质薄膜；步骤４，在未覆盖介质的微放电电极上沉积一维纳米材料。
【技术特征摘要】
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