下载一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法的技术资料

文档序号:7079176

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本发明公开一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法,具体包括如下步骤:在衬底上制备三维微放电电极;在微电极表面沉积聚合物介质薄膜;形成介质和电极交替结构;在未覆盖介质的微电极上沉积一维纳米材料。本发明可以有效改善介质对微放电电极表面的...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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